传感器原理及检测技术 第4章 电容式传感器原理及其应用 A.pptVIP

第 4 章 电容式传感器 4.1 电容式传感器的工作原理和特性 4.2 电容式传感器的测量转换电路 4.3 电容式传感器的应用 4.4 电容式传感器的特点及设计改善措施 4.1 电容式传感器的工作原理和特性 4.1.1 电容式传感器的工作原理 ? 电容式传感器的基本原理是将被测量的变化转换成传感元件 电容量的变化，再经过测量电路将电容量的变化转换成电信 号输出。 ? 电容式传感器实际上是一个可变参数的电容器。 电容式传感器工作原理图 ? 平板电容器电容量表达式为： ? 三个参数都直接影响着电容量的大小。如果 保持其中两个参数不变，而使另外一个参数改变，则电容 量就将发生变化。 ? 如果变化的参数与被测量之间存在一定函数关系，那么电 容量的变化可以直接反映被测量的变化情况，再通过测量 电路将电容量的变化转换为电量输出，就可以达到测量的 目的； ? 电容式传感器通常可以分为三种类型：改变极板面积的变 面积式；改变极板距离的变间隙式；改变介电常数的变介 电常数式。 4.1.2 类型与结构形式及特性 （ 1 ）变面积型（线位移） ? 常用的线位移变面积型电容式传感器可分为平面线位移型和 柱面线位移型两种结构。 ? 对于平板状结构，在图 4-5 （ a ）中，两极板有效覆盖面积 就发生变化，电容量也随之改变，其值为： 式中， ，为初始电容值。 ? 对于柱状结构，在图 4-5 （ b