原创力文档- 1、本文档共17页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
華北檢測中心 平面度 共面度 目錄 平面度的定義 平面度的定義 共面度的定義 平面度、共面度、翹曲度三者區別 平面度之評定方法 平面度之最小包容區域法 平面度之最小二乘法 平面度之對角線法 平面度之三遠點法 共面度之測量方法 共面度之三棱鏡法 共面度之投影法 平面度共面度 * 華北檢測中心 薛智林 平面度的定義 共面度的定義 兩者的區別 平面度的評定方法 共面度的測試方法 平面度:即反映實際平面相對理想平面的變動量. 平面度: 包容實際平面,且具有最小寬度的兩平行平面 之間的區域. f值即平面度值. 共面度輸出點的分布圖 平面度輸出點的分布圖 平面度、共面度、翹曲度三者區別 共同點:三者都反映樣品的實際狀況相對理想狀況的變動量. 評定方法: 最小包容區域法. 最小二乘法. 對角線平面法. 三遠點平面法. 第一種方法的評定結果小於或等於其他三種方法. 目前,華北檢測的測量方法即最小包容區域法. 測量方法: 三棱鏡法. 投影法. 2種方法原理一樣,都適合測試共面度. 2種方法準確度一樣. 投影法測試速度比三棱鏡法快3倍. 採用全反射原理: 測得sample上每個pin與 紅色基準面之間的距離. 如平面度測試直接採取每個pin的z座標后, 定義共面度輸出要素, 即可得到共面度值. 三棱鏡法: 每個pin得到一個值. 投影法: 只得到最大的那一個值. The end ! Thanks !
文档评论（0）