B型TYFB-3600综合说明书.pdfVIP

高性能涡轮分子泵 高高性性能能涡涡轮轮分分子子泵泵 TYFB-3600涡轮分子泵 TTYYFFBB-涡轮轮分分子子泵泵 B-3600分子泵电源 BB-分子子泵泵电电源源 使用说明书 使使用用说说明明书书 北 京 泰 岳 恒 真 空 技 术 研 究 所 北北 京京 泰泰 岳岳 恒恒 真真 空空 技技 术术 研研 究究 所所 第1页 共20页 目 录 一、TYFB-3600涡轮分子泵 1、简介 3 1.1概述 3 1.2 11..22结构特点 3 2、技术说明 4 2.1技术参数 4 2.2 安装尺寸 5 3、关于极限压强（极限真空） 7 4、安装使用 7 4.1安装 7 4.2注入润滑油 7 4.3高真空法兰的连接 7 4.4前级真空的连接 8 4.5 放气连接 8 4.6冷却 8 4.7分子泵的烘烤 8 4.8使用 8 5、分子泵在真空气路中的应用范例 9 6、维护与保养 10 6.1清洗 10 6.2更换轴承