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目錄 IC簡介 IC主要結構 IC的特性 為何矽晶是IC產業的主流材料？ 半導體設備及基本製造技術 IC技術發展趨勢 IC簡介 IC=Integrated Circuit(積體電路) 一九五八年九月十二日，德州儀器工程師基爾比發明第一顆積體電路IC。這個裝置揭開二十世紀資訊革命的序幕，同時宣告矽器時代來臨。 IC的特性 ? 體積小 ? 耗電少 ? 速度快 ? 成本低 ? 可靠性高 ? 維修容易 為何矽晶是IC產業的主流材料？ 具可控制的半導體特性 (diode真空管, transistor電晶體,resistor電阻, capacitor電容, conductor銅導體…) 容易長成無缺陷的單晶 容易長穩定的氧化矽及氮化矽 容易打上鋁線及金線 可量產性高 → 低成本 半導體設備及基本製造技術 OXIDATION 氧化 DIFFUSION 擴散 CVD 化學氣相沉積 PHOTO LITHOGRAPHY 微影術 ETCHING 蝕刻 ION IMPLANTATION 離子植入 METALIZATION 金屬化 CMP 化學機械研磨 IC技術發展趨勢 小－元件愈來愈小 大－晶圓愈來愈大 廣－應用愈來愈廣 快－速度愈來愈快 雜－功能愈來愈雜 * * IC製程相關技術 指導老師:林振漢 班級:四電四乙 學生:鄭焜隆 學號:BD92128 *積體電路發展史(IC Chronology) 1823年 發現矽 Silicon was Discovered 1904年 發明二極真空管 Diode Vacuum Tube was Invented 1947年 發明雙極電晶體 Bipolar Transistor was Invented 1958年 發明積體電路 Integrated Circuit was Invented 1959年 發展小型積體電路 SSI was Developed(RTL) 1964年 發展P型金氧半導體 P MOS IC was Developed 1967年 發展 TTL 中型積體電路, 互補式金氧半導體 TTL MSI and C MOS IC were Introduced 1968年 發展 P 型金氧半導體大型積體電路 P MOS LSI was Introduced By Intel 1979年 發展 64K DRAM (進入VLSI 紀元) 64K DRAM was Introduced By IBM IC = 積體電路 電阻 二極體 電容 電晶體 + + + + ??? IC主要結構 *什麼是IC ? IC 是把一些電阻、電容、二極體、電晶體等做在一個不可分割的基底(Substrate)上的半導體積體電路 *IC封裝後的產品 *IC的體積 42 Million Transistors *Pentium 4 *半導體製程示意圖 *
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