传感器原理及运用第6章-压电式传感器教学课件.ppt

传感器原理及应用 第 6 章 压电式传感器 6.4 等效电路与测量电路 6.4.2 测量电路 （ 2 ）电荷放大器 讨论： ? 电荷放大器的输出电压 U 0 只取决于输入电荷 Q 和反 馈电容 C f ，输出电压与电缆电容 Cc 无关，与 Q 成正比， 与电容 Cf 成反比，这是电荷放大器的突出优点。考虑 不同量程因素 C f 的容量做成可以选择的电容，一般为 100 ～ 104pF 。 ? 缺点是电路复杂，价格昂贵，使用电荷放大器，电 缆长度变化影响可忽略，并且允许使用长电缆工作。 传感器原理及应用 第 6 章 压电式传感器 传感器原理及应用 第 6 章 压电式传感器 主要内容 1. 压电效应 2. 压电材料 3. 压电元件结构 4. 等效电路与测量电路 5. 压电传感器的应用 传感器原理及应用 第 6 章 压电式传感器 概述 压电陶瓷位移器 压电陶瓷超声换能器 压电秤重浮游计 压电加速度计 压电警号 传感器原理及应用 第 6 章 压电式传感器 概述 ? 压电式传感器以电介质的 压电效应 为基础， 外力作用下在电介质表面产生电荷，从而实 现非电量测量 , 是一种典型的 发电型 传感器 . ? 压电式传感器可以对各种 动态力 、 机械冲击 和 振动 进行测量，在声学、医学、力学、导 航方面都得到广泛的应用。 传感器原理及应用 第 6 章 压电式传感器 6.1 压电效应 ? 某些电介质（晶体）当沿着一定方 向施加力变形时，内部产生极化现象， 同时在它表面会产生符号相反的电荷； 当外力去掉后，又重新恢复不带电状态； 当作用力方向改变后，电荷的极性也随 之改变 ; 这种现象称 压电效应 。 ? 压电现象是晶体缺乏中心对称引起的 , 自然界 32 种晶体点阵中，有中心对称和 非对称两大类，非中心对称的 21 种中有 20 种有压电效应。 传感器原理及应用 第 6 章 压电式传感器 6.1 压电效应 ? 压电效应是可逆的 ? 在介质极化的方向施加电场时，电介质会产生形变， 将电能转化成机械能，这种现象称“ 逆压电效应 ”。 ? 压电元件可以将 机械能 电能 也可以将 电能 机械能 压电元件 机 械 能 电 能 传感器原理及应用 第 6 章 压电式传感器 6.2 压电材料 6.2.1 石英晶体 ? 自然界许多晶体具有压电效应，但十分微弱，研究发现 石英晶体、钛酸钡、锆钛酸铅是优能的压电材料。压电材 料可以分为两类：压电 晶体 、压电 陶瓷 。 石英晶体外形结构 石英晶体特征 天然、人工两种都属于单晶体 化学式为 —— SiO 2 外形无论再小都呈六面体 沿各个方向的特征不同 沿 X （ 电轴 ）作用产生电荷称 纵向 压电效应 沿 Y （ 机械轴 ） …………… .. 横向 压电效应 沿 Z （ 光轴 ）不产生压电效应 传感器原理及应用 第 6 章 压电式传感器 6.2 压电材料 6.2.1 石英晶体 —— 单晶体（水晶） 压 电 晶 片 按特定方向切片 人工合成水晶 传感器原理及应用 第 6 章 压电式传感器 6.2 压电材料 6.2.1 石英晶体 ? 压电元件受力后 , 表面电荷与外力成正比关系 : d 为压电系数为常数 ? 在 X 轴方向施力时 , 压电系数 d 11 产生电荷大小为 : σ 1 为 X 方向应力 ? 在 Y 轴方向施力时 , 根据晶体的对称性压电系数 d 12 = -d 11 产生电荷大小为 : σ 2 为 Y 方向应力 a 、 b 是晶体切片几何尺寸 ( 长 、厚 ) Q dF ? 11 1 x q d ? ? 12 2 y b q d a ? ? 压电特性的各向异性可用矩阵表示 传感器原理及应用 第 6 章 压电式传感器 6.2 压电材料 6.