厚度剪切振动石英晶体板双层电极的热效应教学案例.pptVIP

厚度剪切振动石英晶体板双层电的热效应 指导老师: 王 骥 作者: 吴 振 毕业设计报告 石英晶体谐振器 石英晶体谐振器是一个电子元件，它常被用作频率稳定和选择的参考来源。 石英晶体谐振器的结构：石英板+电极 电极的结构：在制造过程中，为了使得石英板与金属电极粘接得更好，通常将石英板上的电极制成了双层结构。 传统的石英晶体谐振器 石英板尺寸较大，电极相对较薄 金属电极层对于石英板振动频率的影响非常小 在各种研究分析中，包括谐振器的温度-频率特性分析中，都假定金属电极对整个谐振器是没有影响的 现今的石英晶体谐振器 随着显微机械加工的发展，谐振器被做得越来越小 电极层的影响，特别是由金属电极热效应所产生的影响变得不可忽略。 因此，在设计和性能评估过程中我们必须对这种影响展开深入的研究 基本理论 增温场理论（ITF）（Lee 和 Yong）下的运动方程： 这里 这里值得一提的是，热膨胀系数 以及弹性模量 都是与温升相关的量 假设位移为： 在石英谐振器的制造过程中，为了使得石英板与金属电极粘接得更好、更牢固，通常将石英板上的传导金属电极制成了双层结构。它的结构如图所示，因为对称，我们只画出它的上半部分。 2b” 2b’ b X2 X1 Crystal Metal electrode 1 Metal electro