无尘室相关标准.pptxVIP

Contents无尘室原理无尘室衡量标准无尘室验收标准无尘室原理无尘室概念:以工业铝材(或不锈钢方通、铁方通喷塑)作为框架,采用风机滤网机组FFU送风,四周用防静电垂帘(或钢化玻璃),内部净化级别可达100～100K级,适用局部净化级别要求高的区域。对微粒控制、温度、湿度、照明、噪声、静电、微振的多功能综合整体。无尘室原理依据送风方式的不同： 可分为乱流式(非均匀流型)和单一方向式(均匀流型)。Class 1～100 均采用单向流送风方式，即在同一截面的任一点，气流的方向和速度均保持一致，将室内的尘埃粒子以最快的速度带走。靠送风气活塞般的挤压作用。新风量不小于总风量的2%~4%。Class 1000 ～ 100000采用非单向流送风方式，以不均匀的速度呈不平行流动，伴有回流或涡流，主要靠气流不断稀释室内空气，将室内的污染逐渐排出，以实现净化。靠气流扩散来稀释。新风量不小于总风量的10%~30%。测量单位：微米(micrometer),1um=1m的百万分之一。无尘室衡量标准洁净度——参照 STD-209E无尘室衡量标准Air Change HEPA 遮蔽率无尘等级Air Change(次/hr）HEPA 遮蔽率Class 100240~48050%~100%Class 100017~24010%~35%Class~10%Air change: FFU的表面积*