TiN薄膜制备方法、性能及其应用的研究进展.docx

TiN薄膜制备方法、性能及其应用 前言：通过上半个学期对薄膜制备技术课程的学习，对于薄膜的制备方法，各种薄膜的检测方式和多种显微镜有了深刻的了解和认识。并在课后通过查阅文献和文献检索之后，自己学习了TiN薄膜制备的方法，并联系课上学习到的知识，对薄膜制备技术这门课有了更加深入的认识，本文便是我课后自学的成果。 摘要：综述了TiN 薄膜的制备方法及进展，介绍了物理气相沉积、化学气相沉积、等离子化学气相沉积及光化学气相沉积等各种TiN 薄膜的制备方法，评述了各种制备工艺的优缺点。介绍了TiN 薄膜在超硬耐磨、耐腐蚀等方面研究的新进展，最后对TiN 薄膜的应用范围和领域作了展望。 关键词：TiN