b型tyfb3600综合使用说明书.doc

高性能涡轮分子泵 TYFB-3600 涡轮分子泵 B-3600 分子泵电源 使用说明书 北 京 泰 岳 恒 真 空 技 术 研 究 所 第 1 页 共 20 页 目 录 一、TYFB-3600 涡轮分子泵 1、简介 3 1.1 概述 3 1.2 结构特点 3 2、技术说明 4 2.1 技术参数 4 2.2 安装尺寸 5 3、关于极限压强（极限真空） 7 4、安装使用 7 4.1 安装 7 4.2 注入润滑油 7 4.3 高真空法兰的连接 7 4.4 前级真空的连接 8 4.5 放气连接 8 4.6 冷却 8 4.7 分子泵的烘烤 8 4.8 使用 8 5、分子泵在真空气路中的应用范例 9 6、维护与保养 10 6.1 清洗 10 6.2 更换轴承 10 6.3 冲击防护 10 6.4 振动隔离 10 6.5 强磁场屏蔽 10 6.6 电磁干扰 10 6.7 强放射性限制 10 6.8 前级泵 10 二、B-3600 分子泵电源 1、参数与功能 11 1.1 简介 11 1.2 安装尺寸 11 1.3 电气参数 11 1.4 前面板按键与接口功能 12 1.5 后面板接口功能 13 2、常规装配与通电试机 15 2.1 整机配电与注意事项 15 2.2 遥控接口的应用 15 第 2 页 共 20 页 三、基于 B 型电源的常规操作流程 1、常规操作流程表 16 2、数码显示屏显示字头含义说明 17 3、报警码对照表与解决方法 17 四、常见故障及排除 1、常见故障及排除表 18 五、库存与开箱 1、库存 18 2、开箱 18 保修说明 19 产品保修单 20 第 3 页 共 20 页 一、TYFB-3600 涡轮分子泵 1、简介 1.1 概述 TYFB-3600 涡轮分子泵是通过多级动、静涡轮叶片相对高速旋转实现抽气的一种机械式真空泵。此涡 轮分子泵具有在分子流区域内时抽速大、压缩比高的特点，且比扩散泵节能、无油蒸汽污染。TYFB-3600 涡轮分子泵是目前国内抽速最大的分子泵，其动叶轮采用变截面加工，强度高、重量轻，泵性能更可靠、 更稳定。 此分子泵对被抽气体无选择性、无记忆效应，由于对分子量大的气体有很高的压缩比，因此该泵不需 要冷阱和油挡板即可获得清洁的高真空和超高真空。其广泛应用于电子、冶金、化工、科研及真空技术的 各个领域。 为了您能更好的了解和使用分子泵请仔 细阅读本使用说明书 1.2 结构特点 TYFB-3600 涡轮分子泵采用进口精密陶瓷轴承支撑，冷却方式为水冷，冷却水温必须低于 20℃。该 泵转子经过整机动平衡，运转平稳可靠，电机为鼠笼式三相电机，轴承润滑采用锥孔轴自吸油润滑，简易 可靠，但也决定了分子泵只能垂直安装。 图-1 TYFB-3600 涡轮分子泵结构简图 第 4 页 共 20 页 2、技术说明 2.1 技术参数 TYFB-3600 涡轮分子泵结构简图见图-1，技术数据见表-1，抽速曲线见图-2，对氮气及氢气的压缩比见 图-3。 表-1 TYFB-3600 涡轮分子泵技术参数表 型号 TYFB-3600 进气口法兰 400 ISO-K 排气口法兰 100 ISO-K 抽气速率(L/S)(对空气) 3600 压缩比 2 108 N H 2 6X102 极限压强(Pa) 2×10-6 额定转速(rpm) 12600 使用轴承 进口陶瓷轴承 振动值（μm） ≤0.15 启动时间(min) 10 停机时间(min) 20 建议采用的前级泵（L／S） 30-70 冷却方式 水冷 冷却水温度（℃） ≤20 冷却水流量(L/min) 1 泵体烘烤温度（℃） 80 环境温度（℃） 5-40 安装方向 垂直±5° 泵重量(kg) ≈100 图-2 TYFB-3600 涡轮分子泵抽速曲线 第 5 页 共 20 页 图-3 TYFB-3600 涡轮分子泵对氮气及氢气的压缩比曲线 2.2 安装尺寸 TYFB-3600 涡轮分子泵高真空连接法兰 400 ISO-K 尺寸见图-4，前级连接法兰 100 ISO-K 尺寸见图-5， 安装尺寸见图-6。 图-4 TYFB-3600 涡轮分子泵高真空连接法兰（400 ISO-K）尺寸简图 图-5 TYFB-3600 涡轮分子泵前级连接法兰（100 ISO-K）尺寸简图 第 6 页 共 20 页 图-6 TYFB-3600 涡轮分子泵安装尺寸简图 第 7 页 共 20 页 3、关于极限压强（极限真空） 分子泵‘极限压强’是依据 ISO 国际标准《涡轮分子泵性能测试方法》测试规程，对泵体及测试罩进 行充分烘烤（48 小时干燥除气）后，在测试罩规定位置测得的最低压强数值。在实际使用中，‘极限压强’ 数值与所配置的前级泵的工作压强和有效抽速有关。选择性能较高的前级泵对获得更高的真空度以及缩短