晶圆厂机台二次配系统简介上课讲义.pptVIP

晶圆厂机台二次配电系统简介(制作人:朱红军);一．晶圆厂机台图片欣赏 　1. etch-蚀刻区(简称E);;一．晶圆厂机台图片欣赏 　2 . cleancmp –水槽区(简称CC);;一．晶圆厂机台图片欣赏 　3. diffusion-扩散区或者称炉管区 (简称D);;一．晶圆厂机台图片欣赏 　4 . thinfilm-薄膜区(简称T);;一．晶圆厂机台图片欣赏 　5 .其他实验、量测机台及自动存储仓库STK.;二．晶圆厂机台一般分区规划 1.说明:制程段机台共分6个区,分别为E CC P D CC T 　　;三．晶圆厂机台一般编号命名规则(TOOL ID);1;;;1.机台内置开关(无电盘);;四．晶圆厂机台二次配电所对应设备及大致位置;四．晶圆厂机台二次配电所对应设备及大致位置;四．晶圆厂机台二次配电所对应设备及大致位置;四．晶圆厂机台二次配电所对应设备及大致位置;四．晶圆厂机台二次配电所对应设备及大致位置;五．晶圆厂机台二次配电涉及的相关设备及对应设备的特性 ;五．晶圆厂机台二次配电涉及的相关设备及对应设备的特性 ;五．晶圆厂机台二次配电涉及的相关设备及对应设备的特性 ;五．晶圆厂机台二次配电涉及的相关设备及对应设备的特性 ;;六．晶圆厂机台二次配电工作范围及常用架构图;七．晶圆厂机台二次配电一般规则 ;七．晶圆厂机台二次配电一般规则 ;七．晶圆厂机台二次配电一般规则 ;八．晶圆厂机台二次配电所用之电盘位置规划 ;九．晶圆厂机台二次配电时相关准备工作及注意事项 ;九．晶圆厂机台二次配电时相关准备工作及注意事项 ;N;十一．晶圆厂送电相关注意事项;十一．晶圆厂送电相关注意事项;十二．晶圆厂机台电力系统日常维护保养;十二．晶圆厂机台电力系统日常维护保养;十三. 问题与讨论!