朗兆泡生法led蓝宝石长晶炉.docVIP

LZ80蓝宝石单晶炉介绍 上海朗兆机电设备有限公司 ? All rights reserved 目 录 公司背景介绍 LZ80炉子的特点 LZ80炉子技术参数 各级别掏棒方案 LZ80炉子的能耗指标 LZ80炉子耗品特点 售后服务和交货周期 公司背景介绍： n 上海朗兆机电设备有限公司是一家低碳 节能装备制造企业，公司主要从事改良 泡生法(KY)蓝宝石单晶炉设计、制造； 同时掌握了蓝宝石炉的钨钼热场设计制 造、蓝宝石晶体生长工艺等多项技术。 n 公司注册地：上海 公司背景介绍： 公司位于上海松江具 备年产200台KY法蓝 宝石炉子厂房和成熟 的研发、生产、管理 团队 4 上海朗兆的主要产品： n 蓝宝石单晶炉系列： LZ80-35A（装料量30-35KG） LZ80-70A（装料量60-70KG） LZ80-90A（装料量80-90KG） LZ80-120A（装料量110-120KG） 大尺寸蓝宝石晶体生长技术发展 上海朗兆单晶炉的特点 n 朗兆LZ80系列蓝宝石单晶炉,是基于改良 泡生法SAPMAC单晶炉，具有下列优点： 上海朗兆单晶炉的特点 1 n 自动化程度高，操作简便，对人员依赖性小 1. 生长过程，除了引晶以外，其他工序是全自动控制 2. 采用友好的人机界面，生长过程中的温度、水流、晶 重 等各项参数一目了然，便于用户操作 3. 采用温度和重力双闭环控制，自动控制长晶速率，和 炉内温度，对各类故障进行报警，处理 4. 采用美国先进的生长工艺，有效的减少了晶体生长过 程中的气泡，云纹等缺陷 5. 多项国家专利，设计先进，安全可靠 上海朗兆单晶炉的特点 2 n 先进的设计，掏棒率高，后期营运成本低廉 1. 热场采用最先进的俄罗斯技术；温场稳定、可靠，使 用寿命长，后期耗品成本低廉 2. 优化的坩埚尺寸，晶体在掏棒过程中利用率高，便于 生产大尺寸晶棒 3. 采用IGBT高频电源，电源精度高，效率高，功率因数 高达0.92，节能环保 4. 热场中引入经特别处理的保温材料氧化锆，不影响晶 体性能的前提下，相应降低能耗，增加了安全性能。 上海朗兆单晶炉的特点 3 晶体成本构成 热场消耗 电力消耗 氧化铝材料 籽晶 设备折旧 其他 电力消耗20% 上海朗兆LZ80系列单晶炉 LZ80系列蓝宝石炉参数1： LZ80-35A LZ80-70A LZ80-90A LZ80-120A 炉室直径mm Φ680 Φ680 Φ800 Φ800 炉室高度mm 880 990 1060 1060 炉室内层材料 316L 316L 316L 316L 实际装料量KG 30-35 60-70 80-90 110-120 冷却方式 水冷 循环水消耗m3/h 7 12 15 17 进水温度 25 25 25 25 最高耐温 2200 真空度Pa 极限真空10-5Pa ，工作状态10-3Pa LZ80系列蓝宝石炉参数2： LZ80-35A LZ80-70A LZ80-90A LZ80-120A 坩埚直径mm Φ250 Φ330 Φ350 Φ380 坩埚高度mm 370 450 495 525 电源功率KW 70/高频 100/高频 100/高频 140/高频 输出电压V 12 12 12 14 功率因数 0.92 0.92 0.92 0.92 电源精度 0.05% 0.05% 0.05% 0.05% 控制方式 PLC，触摸屏，功率控制、温度控制 称重方式 双称重结构 总水路检测 压力/流量/温度 晶升 快速:75mm/min，慢速: 0.06－20mm/h 晶转 1－20r/min 70KG掏棒方案 外径330X450高的坩埚，大尺寸晶棒的掏棒方案 坩埚高度 450的意 义：能同 时掏6支4 寸棒 能掏6支4寸棒， 能掏2支6寸棒， 2支2寸棒 90KG掏棒方案 外径350X495高的坩埚，大尺寸晶棒的掏棒方案 坩埚高度 495的意 义：掏6 支4寸棒 同时，掏 3支2寸棒 能掏6支4寸棒， 能掏2支6寸棒， 3支2寸棒 4支2寸棒 各个级别掏棒率比较 30KG级别 65KG级别 85KG级别 120KG级 理论掏棒率比较 2英寸棒 1200 2800 4000 4500 4英寸棒 1000 1000+400（2寸） 6英寸棒 420+650（2寸） 实际掏棒率=理论掏棒率*（0.5-0.7） 朗兆蓝宝石炉，坩埚尺寸最适合生产大尺寸晶棒 LZ80系列蓝宝石炉能耗指标 LZ80-35A LZ80-70A LZ80-90A LZ80-120A 生长工艺 10 16 20 25 周期（天） 单炉能耗 9500 21000 29000 43000 （KW) 晶体生长工艺周期取决于每个客户实际的长晶工艺 LZ80系列蓝宝石耗品特点 n 在兼顾热场