硅片过程检验培训53927培训讲学.pptVIP

* 硅片过程检验培训 目录： 1.引言 2.电池片过程检验标准 3.过程检验作业指导书 硅片检验主要分为三类： 1.硅片来料检验 2.电池片生产过程检验 3.电池片出货检验 引言 硅片来料检验设备： 引言 硅片来料检验目的： 保证进货的原材料满足规定的要求，防止不合格品流入生产流程造成不必要的损失。(确保合格的产品提供给生产部门) 引言 硅片来料检验主要项目： 1.电学部分： 厚度/电阻率测试 少子寿命测试 引言 2.光学部分： 几何尺寸 垂直性 硅片破裂（包括崩边、裂痕、V型缺口） 表面脏污 空洞和隐裂 引言 相关硅片实例： 引言 电池片生产过程检验目的： 防止过程中出现批次性问题，避免不合格品流入下道工序。保证电池片生产工艺过程、操作过程均满足规范要求，保证生产的稳定性及规范性，保证产品效率及成品率。 引言 电池片生产主要过程介绍： 引言 电池片生产过程检验主要相关设备： 引言 主要分为以下几个控制点： 1.前期准备工作检查 2.制绒清洗后； 3.扩散后； 4.等离子刻蚀后； 5.去磷硅玻璃清洗后； 6.PECVD后； 7.丝网烧结后； 8.电池片性能测试分档后。 电池片过程检验标准 前期准备工作检查：