Q_510107HJD 001-2020氦气压缩机企业标准.pdf

Q/510107HJD Q/510107HJD 001-2020 代替Q/SLSJD 1-2011 氦气压缩机 2020-02-20 发布 2020-03-18 实施 发 布 Q/510107HJD 001-2020 前 言 本标准按照GB/T 1.1 《标准化工作导则第1 部分：标准的结构和编写》给出的规则起草。 本标准由成都黄金地真空技术开发有限公司提出。 本标准起草单位：成都黄金地真空技术开发有限公司。 本标准主要起草人：陈勇。 本标准首次发布。 I Q/510107HJD 001-2020 氦气压缩机 1 范围 本标准规定了氦气压缩机的型式、型号与基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、 运输和贮存。 本标准适用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪 器、离子注入机和空间模拟装置等方面的氦气压缩机。 2 规范性引用文件 本标准中引用的文件对于本标准的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本 适用于本标准。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本标准。 GB 150.3 压力容器 第3部分：设计 GB 150.4 压力容器 第4部分：制造、检验和验收 GB/T 191 包装储运图示标志 GB 443 L-AN全损耗系统用油 GB/T 1174 铸造轴承合金 GB/T 3853 容积式压缩机验收试验 GB/T 4980 容积式压缩机噪声的测定 GB 5226.1 机械电气安全 机械电气设备 第1部分：通用技术条件 GB/T 5831 气体中微量氧的测定 比色法 GB/T 5832.2 气体中微量水分的测定 第2部分：露点法 GB/T 7777 容积式压缩机机械振动测量与评价 GB/T 9438 铝合金铸件 GB/T 9969 工业产品使用说明书 总则 GB/T 13306 标牌 GB/T 13384 机电产品包装通用技术条件 GB/T 13819 铜及铜合金铸件 TSG R0004 固定式压力容器安全技术监察规程 JB/T 6431 容积式压缩机用灰铸铁件 技术条件 JB/T 6908 容积式压缩机用钢锻件 JB/T 9104 容积式压压缩机用球墨铸铁件技术条件 3 型式、型号与基本参数 3.1 型式 氦气压缩机的外观结构型式如图1所示，该图不代表氦气压缩机的具体结构。 1 Q/510107HJD 001-2020 图1 氦气压缩机的结构型式 3.2 型号 3.2.1 标记 氦气压缩机标记： HJD - □ □ □ 压缩机代号，“W ”代表涡旋压缩