二氧化硅薄膜及其钝化。.pptVIP

液相法沉积法制备的二氧化硅薄 膜及其钝化性能 报告人：王志刚 学号：2014-10-21 材料制备方法 - 功能薄膜 1 目 录 结论 4 结果与讨论 3 实验过程 2 引言 1 2 引言 3 晶体硅太阳能电池目前是居主导地位的光伏器 件，在生产和应用总量中占首位，并将向效率更高 、成本更低的方向发展。 晶体硅材料表面的质量对太阳能电池的转化效 率起着至关重要的作用，这是因为晶硅材料的表面 缺陷密度很高，存在大量的 悬挂键 、杂质和断键等 ，成为载流子的复合中心，导致硅片表面的 少子寿 命 大大降低，因此需要对硅片进行表面钝化，以减 少载流子复合。一般而言，通过采用热氧化 SiO 2 生 长工艺（≧900℃）可以对晶体硅表面进行有效钝 化，抑制载流子在表面的复合。 引言 4 悬挂键 ：一般晶体因晶格在表面处突然终止，在表面的 最外层的每个原子将有一个未配对的电子，即有一个未 饱和的键，这个键称为悬挂键。 引言 5 少子寿命 ：太阳能电池光电流是光激发产生非平衡载流 子，并在 pn 结作用下流动产生的。载流子的复合会使光 电流减少，少子寿命越小光电流越小。同时少子寿命减 小，增加漏电流从而使开路电压减小。总之，少子寿命 越小，电池效率越低。 由于非平衡少子起着很重要的作用，通常所说的非 平衡载流子是指非平衡少数载流子。 引言 ? 但是硅片中体少子寿命对高温工艺的敏