电子工业部高纯水水质试行标准.doc

我国电子工业部高纯水水质试行标准 化学指标单位：μg/L 序号 水质项目 一级高纯水指标 二级高纯水指标 1 电阻率（25℃） ≥15 ≥10 2 电导率，μs/cm 0.05 0.1 3 PH值 6.8～7.2 6.6～7.4 4 细菌总数，个/mL ＜3 ＜9 5 微粒（直径＞0.5μm，粒/mL） ＜150 ＜300 6 二氧化硅 ＜10 ＜20 7 有机物（以COD计） ＜0.3 ＜0.5 8 钠 Na ＜0.5 ＜2 9 铁 Fe ＜1 ＜2 10 铜 Cu ＜0.5 ＜1 11 钙 Ca ＜1 ＜3 12 镁 Mg ＜0.2 ＜1 13 锌 Zn ＜0.5 ＜1 14 锰 Mn ＜0.2 ＜0.5 说明：①一级高纯水适用于大规模集成电路，微波器件以及有相同要求到半导体器件产品。　　　②二级高纯水适用于一般电路，分立器件以及有相同要求的半导体器件产品。　　　③本表按1980年电子工业部标准摘录。 美国半导体工业用纯水指标 　 化学指标单位：μg/L 项 目 Ⅰ级 Ⅱ级 Ⅲ级 Ⅳ级 残渣，mg/L 0.1 0.3 0.3 0.5 TOC，mg/L 0.02 0.05 0.10 0.40 颗粒，粒/L 500 1000 2500 5000 细菌数，个100mL 0 6 10 50 活性硅SiO2，μg/L 3 5 10 40 电阻率MΩ·cm 18.3 17.9 17