真空技术介绍.doc

真空计算公式 1、玻义尔定律 2、盖·吕萨克定律 3、查理定律 4、平均自由程 5、抽速 6、通导 7、真空抽气时间 8、维持泵选择 9、扩散泵抽速估算 10、罗茨泵的前级抽速 11、漏率 12、粗抽泵的抽速选择 13、前级泵抽速选择 14、扩散泵抽速计算公式 15、旋片真空泵的几何抽速计算公式 16、O型橡胶槽深 17、方形橡胶槽深   1、玻义尔定律 体积V,压强P,P·V=常数一定质量的气体,当温度不变时,气体的压强与气体的体积成反比。 P1/P2=V2/V1 2、盖·吕萨克定律 当压强P不变时,一定质量的气体,其体积V与绝对温度T成正比: V1/V2=T1/T2=常数 当压强不变时,一定质量的气体,温度每升高(或P降低)1℃,则它的体积比原来增加(或缩小)1/273。 3、查理定律 当气体的体积V保持不变,一定质量的气体,压强P与其绝对温度T成正比,即: P1/P2=T1/T2 在一定的体积下,一定质量的气体,温度每升高(或降低)1℃,它的压强比原来增加(或减少)1/273。 4、平均自由程: λ=(5×10-3)/P (cm) 5、抽速: S=dv/dt (升/秒)或 S=Q/P Q=流量(托·升/秒) P=压强(托)  V=体积(升) t=时间(秒) 6、通导: C=Q/(P2-P1) (升/秒) 7、真空

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