第3章 力敏传感器及检测(1)-金属应变片和半导体应变片电子教案.pptVIP

第3章 力敏传感器及检测;3.1 力学传感器中的弹性元件 ;4、应力 　截面积为S的物体受到外力F的作用并处于平衡状态时， 物体在单位面积上引起的内力称为应力，记作σ;5. 应变 应变是物体受外力作用时产生的相对变形， 它是一个无量纲的物理量。 设物体原长度为l， 受力后产生Δl的变形。 若Δl＞0， 则表示物体被拉伸； Δl＜0，则表示物体被压缩。 其应变ε定义为:;3.1.2 变换力的弹性元件;1、弹性圆柱（实心、空心）;2、悬臂梁（等截面）;3.1.2 变换压力的弹性元件;圆形膜片; 电阻应变式传感器???核心元件是金属应变片，它可将试件上的应变变化转换成电阻变化。 ;在其未受力时，原始电阻值为： ; ：电阻的相对变化； ：电阻率相对变化； ：金属丝长度相对变化，用ε表示，ε= 称 为金属丝长度方向上的应变或轴向应变； ：截面积的相对变化。;dr/r为金属丝半径的相对变化，即径向应变为εr。;KS由两部分组成： 前一部分是（1+2μ），表示由于金属丝受拉伸力作用后,材料的几何尺寸发生变化而引起的，一般金属μ≈0.3，因此（1+2μ）≈1.6； 后一部分为 ，表示由于材料发生变形时,其自由电子的活动能力和数量均发生了变化而引起的。 对金属材料，以前者为主，则KS≈ 1+2μ； 实验表明，在金属丝拉伸比例极限内，电阻相对变化与轴向应变成正比。通常KS在1.6～3.6范围内。;;对敏感栅的材料的要求： ①应变灵敏系数大，并在所测应变范围内保持为常数； ②电阻率高而稳定，以便于制造小栅长的应变片； ③电阻温度系数要小； ④抗氧化能力高，耐腐蚀性能强； ⑤在工作温度范围内能保持足够的抗拉强度； ⑥加工性能良好,易于拉制成丝或轧压成箔材； ⑦易于焊接。 对应变片要求必须根据实际使用情况，合理选择。;C 、引线 是从应变片的敏感栅中引出的细金属线。对引线材料的性能要求：电阻率低、电阻温度系数小、抗氧化性能好、易于焊接。大多数敏感栅材料都可制作引线。; 金属丝弯曲部分可作成圆弧、锐角或直角, 如图所示。 弯曲部分作成圆弧（U）形和锐角是最早常用的形式, 制作简单但横向效应较大。 直角（H）形两端用较粗的镀银铜线焊接, 横向效应相对较小, 但制作工艺复杂, 将逐渐被横向效应小、 其他方面性能更优越的箔式应变片所代替。;;优点：; 采用真空蒸发或真空沉积等方法在薄的绝缘基片上形成厚度在 1 以下的金属电阻材料薄膜敏感栅，再加上保护层，易实现工业化批量生产。 优点： 应变灵敏系数大，允许电流密度大，工作范围广，易实现工业化生产。 问题： 难控制电阻与温度、时间的变化关系。;金属应变片;3、电阻应变片的主要特性; K为金属应变片的灵敏系数。 注意: K是在试件受单向应力作用，应变片的轴向与主应力方向一致，且试件材料的泊松比为0.285的钢材时测得的。测量结果表明，应变片的灵敏系数K恒小于线材的灵敏系数KS。原因：胶层传递变形失真和横向效应引起的。 ;（2） 横向效应 金属应变片由于敏感栅的两端为半圆弧形的横栅，测量应变时，试件的轴向应变ε使敏感栅电阻发生变化;其径向应变εr也将使敏感栅半圆弧部分的电阻发生变化，这种现象称为横向效应。;（3）机械滞后 应变片粘贴在被测试件上，当温度恒定时，其加载特性与卸载特性不重合，即为机械滞后。;(4)、温度误差及其补偿 ① 温度误差 用作测量应变的金属应变片，希望其阻值仅随应变变化，而不受其它因素的影响。实际上应变片的阻值受环境温度影响很大。由于环境温度变化引起的电阻变化与试件应变所造成的电阻变化几乎有相同的数量级，从而产生很大的测量误差，称为应变片的温度误差，又称热输出。因环境温度改变而引起电阻变化的主要因素： Ａ、应变片的敏感栅具有一定温度系数； Ｂ、敏感栅材料与试件材料的膨胀系数不同。 ;Ａ、环境温度变化为Δt（℃）时，粘贴在试件表面的应变片敏感栅材料的电阻温度系数为αt （即每１欧的电阻值当温度变化１℃时的改变量)，则应变片产生的电阻相对变化为 Ｂ、环境温度变化为Δt（℃）时，由于敏感栅材料和试件材料两者膨胀系数不同，引起应变片的电阻相对变化为 ;温度变化形成的总电阻相对变化： 相应的虚假应变为 上式为应变片粘贴在试件表面上，当试件不受