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真空泵常见问题;扩散泵;反流示意图;3.扩散泵油的裂化分解;;4.真空泵的清洁度;提高油扩散泵极限真空的方法;减少油蒸气的反流;;;;阀门;减少气体的反扩散;;五.用扩散泵获得高真空的方法;扩散泵结构示意图;;;;滑阀泵及原理其示意图;;滑阀泵故障现象及排除方法; 运 转 故 障 ;;旋片泵及原理其示意图;;故障及其排除方法;;;;;;;罗茨泵及其原理示意图;;罗茨泵与滑阀泵旋片泵组合; ;扩散泵内部水冷及外形图;扩散泵及水冷示意图;运转;;注意事项;;;;炉体真空系统组合图;泵连???等注意事项