超低温冷媒电子特种气体资料.docVIP

超低温冷媒/电子特种气体 HFC系列冷媒： R134a、 R410A、 R407C、 R417A、 R404A、 R507、 R23、 R508A、 R508B、 R152a HCFC系列冷媒： R22、 R123、 R124、 R141b、 R142b、 R402A、 R402B、 R408A、 R409A CFC系列冷媒： R11、 R12、 R13、 R502、 R503 PFC系列冷媒： PFC-14、 PFC-116、 PFC-218 HC系列冷媒： \l r170R170、 \l r290R290、 \l r600aR600a、 \l r1270R1270 ★ PFC-14 （四氟化碳） 用途四氟甲烷是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、超低温制冷剂、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。 包装钢瓶包装（14MPa）（DOT-3AAGB-5099)，阀门（CGA-580/590,QF-2），32kg/48.8L，30kg/43.3L ，5kg/8L，2.5kg/4L。 ★ PFC-116 （六氟乙烷） 用途六氟乙烷主要用作气体电介质和制造集成电路的干腐蚀剂，也常用