第36节-微机械及其微细加工技术.pptxVIP

一、 引言 随着科学与技术 (Micro/Nano Science and Technology)的发展，以本身形状尺寸微小或操作尺度极小为特征的微机械已成为人们在微观领域认识和改造客观世界的一种高新技术。 ;3.6 微机械及其微细加工技术; 微机电系统的概念始于20世纪80年代，一般泛指尺度在亚微米至亚毫米范围内的装置。在不同国家和地区有不同的术语和解释： 美国称作 Micro Electro-Mechanical System - MEMS（微型电-机系统） 微型电-机系统是由电子和机械组成的集成化器件或系统，采用与集成电路兼容的大批量处理工艺制造，尺寸在微米到毫米之间。;在欧洲则称作Micro System（微系统） 是指具有微米级结构，可以批量制作的、集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、甚至外围接口、通信电路和电源等于一体的微型器件或系统。 在日本称作Micro Machine（微机器） 微机器由只有几毫米大小的功能元件组成，它能够执行复杂、细微的任务。;3.6 微机械及其微细加工技术;;3.6 微机械及其微细加工技术; 由于微机电系统的基于微电子技术的背景（从微机械的加工方法来看，它主要起源于硅集成制造技术），使其具有集成电子器件所具有的微小、可靠、灵敏、低耗、高效、成本低、适于大批量生产等系列优点。 ; 微