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三维原子探针（3DAP） 简介 技术特色： 三维原子探针（3DAP）是在场离子显微镜(FIM)基础上发展起来的一种分析技术，在FIM样品尖端叠加脉冲电压使原子电离并蒸发，用飞行时间质谱仪测定离子的质量/电荷比来确定该离子的种类，用位置敏感探头确定原子的位置。 它可以对不同元素的原子逐个进行分析，并给出纳米空间中不同元素原子的分布图形，能够进行定量分析，是目前最微观，并且分析精度较高的一种分析技术。从分析逐个原子来了解物质微区化学成分的不均匀性，3DAP是一种不可替代的分析方法。 3DAP可以直接观察到Cottrell?气团；分析界面处原子的偏聚；研究弥散相的析出过程，非晶晶化时原子扩散和晶体成核过程；分析各种合金元素在纳米晶材料不同相及界面上的分布等 三微原子探针工作原理示意图 三微原子探针设备图 三维原子探针（3DAP）是在场离子显微镜(FIM)基础上发展起来的一种分析技术，在FIM样品尖端叠加脉冲电压使原子电离并蒸发，用飞行时间质谱仪测定离子的质量/电荷比来确定该离子的种类，用位置敏感探头确定原子的位置。 主要附件： 导电样品的电解抛光制样装置和显微电解抛光装置。 主要技术指标： a) 样品可冷却至20-80K温度下进行分析，并在?25-290K之间以1K的分辨率完全可控。b) 在20X20X100nm空间中可定出多数原子的三维空间位置和元素种类。水平方向空间分辨率优于0.25nm。 固溶态 分析区域为：11nm×11nm×100nm Fe Cr Ni Cu Nb C N 应用实例：富Cu相的早期析出行为的研究 时效1h Fe Cr Ni Cu Nb C N 分析区域为：11nm×11nm×100nm 650℃时效1h 1h时一个富Cu相的浓度梯度曲线 分析区域为：11nm×11nm×100nm （分析区域为：3nm×2nm×3.5nm） 单个富Cu相颗粒中元素的分布特点 Cu Fe Ni Cu元素聚集，其它元素被排斥 5nm×5nm×10nm 2.5nm×2nm×2nm 5h 500h 时效500h时富Cu相颗粒周围原子分布情况: 10nm×10nm×1nm Fe Si Mn Al C Cr Ni Cu P Nb V B N 长时间时效后富Cu相中元素分布的特点 * *