PMN-PT驰豫铁电单晶及其超声换能器性能研究_图文.docVIP

　 　 　 　 　 １０８２ 无机材料学报 １６卷 变化的关系．从图３（ａ）可以看出，换能器的电阻抗随电极面积增加而不断减小，而共振频 率＾和反共振频率，ａ却不变；二者频带宽度由于等效纵向机电耦合系数的增加而变宽；对 于Ｓ＝０ ３６ｃｍ。，其电阻抗在，ｒ和厶间从约１０ｎ至数百ｎ变化，二频率中间处接近１００ｎ，对 于Ｓ＝２．０ｃｍ２，电阻抗在，ｒ和丘间从约２—１００ｎ间变化，二频率中间附近处约３０ｆｔ．所以， Ｓ＝２ ０ｃｍ２的电阻抗更接近电源和终端的５０ｆｔ，符合电阻抗匹配的条件．图３（ｂ）结果表明， 面积为Ｓ＝２．０ｃｍ２，工作频率在３．５ＭＨｚ附近，其换能器损耗的确为最小．面积为Ｓ＝０．３６ｃｍ２、 工作频率为约３ ０ＭＨｚ，其换能器损耗虽比Ｓ＝２ ０ｃｍ２的大，但其频率宽度却明显优于其他的 频率．换能器损耗的上述性能主要是与二者在＾和丘频率附近的电阻抗是否接近５０ｆｔ有 关． 为了进一步研究换能器在无声匹配层，但背衬材料的声阻抗不同而引起换能器性能变 化的规律，本文模拟了单晶材料参数与图３相同的换能器性能．由于电极面积不影响换能 器压电振予的工和，ａ［１０ｊ．因此，为讨论方便，压电单晶厚度仍然不变，电极面积恒定为 Ｓ＝２．０ｃｍ２图４（ａ），（ｂ）分别是模拟得到的换能器电阻抗和损耗的频谱曲线．从图４（ａ）可以 看出，在，ｒ和，ａ频率附近，电阻抗随背衬声阻抗的增加而不断趋于平缓，电阻抗逐渐偏 离了５０Ｆｔ，说明增加背衬材料的机械负载，将削弱压电单晶的振动强度．同时，压电单晶的 ，ｒ和，ａ亦从原来的Ａ／２，３Ａ／２… 逐渐变化为Ａ／４，３），／４…，，其振动的波节也由原来处于 压电单晶厚度中间向压电单晶和背衬的界面方向偏移．相应地，换能器的损耗亦如图４（ｂ） 所示而急剧下降，出现了工作频率在＾／４处的低换能器损耗．以上原因是由于增加背衬负 载，不仅导致了压电振子的振动幅度下降，而且压电单晶的声阻抗（ｚｏ＝２９ｘ１０６ｋｇ／ｍ２Ｓ）因 接近背衬材料的声阻抗（Ｚｏ＝１０—６０ｘ１０６ｋｇ／ｍ２Ｓ），而远大于水的声阻抗（ｚｏ＝１．５×１０６ｋｇ／ｍ２Ｓ１， 压电单晶更多地向背衬材料而不是向水媒介发射能量，使得超声回波信号也相应减弱，加 　 大了换能器损耗；最后，换能器的电阻抗偏离了５０ｎ电阻抗匹配条件，也引起换能器损耗 下降．所以，在压电单晶和传播媒介水间必须有声匹配层，通过适当地调节电极面积和压 电单晶厚度获得必要的电阻抗匹配，才能有效地降低换能器损耗． 图５（ａ），（ｂ）是模拟ＰＭＮ－ＰＴ压电单晶声在发射端面处粘结如图２所示的一层声阻抗 匹配层后，得到的电阻抗和换能器损耗频谱曲线．模拟结果表明换能器在＾和厶间，它 的电阻抗接近５０ｆＺ，其换能器损耗比图４（ｂ）有所改善．在图５的计算中，匹配声阻抗是由 ￣／乏≯赢计算得到为６．６７ｘ１０６ｋｇ／ｍ２ｓ，背衬材料的声阻抗为２０ｘ１０６ｋｇ／ｍ２Ｓ，电极面积为 Ｓ＝３ ５ｃｍ２，压电材料的其他参数和厚度不变．另外，图５巾还对压电材料的介电和机械损耗 对电阻抗和声阻抗进行了模拟，其中Ｑ。＝５０，０。＝１０与ＰＺＴ一５的机械和介电损耗相当，此 外．通过改变０。和仇，可以发现，电损耗的降低比机械损耗降低更有助于降低换能器损 耗．所以，降低介电损耗更有利于降低换能器的损耗． ４结论 ＰＭＮ—ＰＴ驰豫铁电单晶［００１］切型的横向和纵向机电耦合系数很大，而厚度机电耦合系 数与ＰＺＴ一５相当，因此，设计ＰＭＮ．ＰＴ超声换能器应尽量利用横向和纵向机电耦合系数． ＰＭＮ—ＰＴ低的介电和机械损耗与其无晶界有关．计算机模拟显示介电和机械损耗越小，换 能器损耗也得到降低，并且，介电损耗比机械损耗对换能器损耗的减小更有利． 万方数据 　 ６期 李国荣，等：ＰＭＮ—ＰＴ驰豫铁电单晶及其超声换能器性能研究 １０８３ 参考文献 １】Ｐａｒｋ Ｒ Ｅ，Ｓｈｏｒｔ Ｔ Ｒ ＩＥＥＥ Ｔｒａｎｓａｃｔｉｏｎ Ｏｎ Ｕｌｔｒａｓｏｎｉｃｓ，Ｆｅｒｒｏｅｌｅｃｔｒｉｃｓ ａｎｄ Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ Ｃｏｎｔｒｏｌ，１９９７ ４４：１１４０——１１４７ Ｌｕｏ Ｈ Ｓ，Ｘｕ Ｇ Ｓ，Ｗａｎｇ Ｐ Ｃ，ｅｔ ａｌ Ｆｅｒｒｏｅｌｅｃｔｒｉｃ，１９９９，２３１（１～４）：６８５—６９０ 许桂生，罗豪匙，仲维卓，等．中国科学（Ｅ），１９９９，２９：４０５—４１２ Ｙｉｎ Ｑ Ｒ，Ｌｕｏ Ｈ Ｓ，Ｌｉ ＧＲ ＩＥＥＥ Ｕｌｔｒａｓｏｎｉｃｓ Ｆｅｒｒｏｅｌｅｃｔｒｉｃｓ ａｎｄ Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ Ｐｈｙｓ．，１９９９，８５：２８１０—２８１４ Ｓｔｄ １７６ １７８ Ｃｏｎｔｒｏｌ（ａｃｃｅｐｔｅｄｊ． Ｌｉｕ Ｓ Ｆ，Ｐａｒｋ Ｓ Ｅ，Ｓｈｒｏｕｔ Ｔ Ｒ，ｅｔ ｎｆ．Ｊ Ａｐｐｌ ＩＥＥＥ Ｓｔａｎｄａｒｄ