SEM扫描电子显微镜简介.pptVIP

2019/12/26 扫描电镜 SEM (Scanning Electron Microscope) 2019/12/26 1.SEM 的发展历程 2.SEM 的结构与工作原理 3.SEM 的特点 5.SEM 的应用 4.SEM 的样品制备 目录： 2019/12/26 一、 SEM 的发展历程（ 1 ） ? 1924 年，法国科学家 De.Broglie 证明任何粒子在高速运动时都会 发射一定波长的电磁辐射。 ? 1926 年，德国科学家 Garbor 和 Busch 发现用铁壳封闭的铜线圈对 电子流能折射聚焦，即可以作为电子束的透镜。 ? 1935 年， Knoll 提出了扫描电镜的设计思想并制成了扫描电镜的 原始模型。 ? 1942 年，剑桥大学的马伦成功地制造世界第一台扫描电镜。 2019/12/26 ? 1960 年， Everhart 和 Thornley 发明二次电子侦测器。 ? 1965 年，第一部商用 SEM 出现（ Cambridge ）。 ? 1958 年，在长春中国科学院光学精密机械研究所生产了第一台 中型电镜。 ? 1975 年，中国科学院北京科学仪器厂成功试制了第一台 DX-3 型 扫描电镜，分辨率为 10nm ，填补了我国扫描电镜的空白。 SEM 的发展历程（