油扩散泵的工作原理与结构.pdfVIP

1．概述 1．概述 11．．概概述述 油扩散泵的工作原理与水蒸汽喷射泵相似，都是靠高速 蒸汽射流来携带气体以达到抽气的目的，故有如水蒸汽喷射 泵相似的特点。不同点是扩散泵工作在高真空区域，其工作 -2 -6 压强范围为 10 ～10 pa。广泛用于电子、化工、冶金、机 械、石油及原子能等工业部门中。 2．油扩散泵的工作原理与结构 2．油扩散泵的工作原理与结构 22．．油油扩扩散散泵泵的的工工作作原原理理与与结结构构 图 3：油扩散泵结构示意图 图 3 是扩散泵的结构示意图。当油蒸汽从伞形 喷咀(如 I 级喷咀)以超音速喷出后，其速度逐渐增大，压力 及密度逐渐降低，射流上边的被抽气体 A 因密度差要向蒸汽 射流中扩散并被射流携带到水冷的泵壁处B，在 B 处，工作 蒸汽大部分被冷凝成油滴沿泵壁流回到油锅中循环使用，而 被抽气体在 B 处堆积、压缩，最后被下级射流携带走，以达 到逐级压缩，最后被前级泵抽走。其抽速特性曲线如图 4 所 示。 图 4：油扩散泵抽气速率与入口压力的关系曲线