扫描隧道显微镜[文档整理] .pdfVIP

扫描隧道显微镜（ STM）的原理及其在纳米材料研究中的应用 引 言 透射电子显微镜在观察物质的整体结构方面是很有用的，但在表面结构的分析 上却较困难，这是因为透射电子显微镜是由高能电透过样品来获得信息的，反映的 是样品物质的内部信息。扫描电子显微镜（ SEM）虽然能揭示一定的表面情况，但由 于入射电子总具有一定能量，会穿入样品内部，因此分析的所谓“表面”总在一定 深度上，而且分辨率也受到很大限制。 场发射电子显微镜 （FEM）和场离子显微镜 （FIM） 虽然能很好地用于表面研究，但是样品必须特殊制备，只能置于很细的针尖上，并 且样品还需能承受高强电场，这样就使它的应用范围受到了限制。 扫描隧道电子显微镜 （STM）的工作原理完全不同， 它不是通过电子束作用于样 品（如透射和扫描电子显微镜）来获得关于样品物质的信息，也不是通过高电场使 样品中的电子获得大于脱出功的能量而形成的发射电流成像（如场发射电子显微 镜），并以此来研究样品物质，它是通过探测样品表面的隧道电流来成象，从而对样 品表面进行研究。 STM 技术的最大优势在于可获得原子级的分辨率，通常它的分辨率在平行于表 面的方向可达纳米，在垂直于表面的方向可达纳米，此外，