第六章压电式传感器 (2)电子教案.ppt

6.4.1 压电式加速度传感器 解得(wH/w0)2 =1.04、0.96、0.042，舍去1.04和0.96，计算得wH/w0 = 0.205，则 fH = 0.205f0 = 6.15kHz 另外fH也可按fH = ( 1/5~1/3 ) f0 范围估算，则得fH范围在6~10kHz之内。 通过以上分析可见，加速度计使用信号频率的范围在1.6Hz至6kHz比较理想。 6.4.1 压电式加速度传感器 2.压电式加速度传感器的结构 目前，压电式传感器的结构形式主要有压缩型、剪切型和复合型三种。 （1）压缩型 图(a)为正装中心压缩式，其特点是：质量块和弹性元件通过中心螺栓固紧在基座上形成独立的体系，从而与易受非振动环境干扰的壳体分开，它具有灵敏度高、性能稳定、频响好、工作可靠等忧点，但基座的机械应变和热应变仍有影响。 6.4.1 压电式加速度传感器 为此，设计出如图(b)所示的改进型的隔离基座压缩式，和图(c)所示的改进型的倒装中心压缩式。图(d)是一种双筒双屏蔽新颖结构，它除了外壳起屏蔽作用外，内预载套筒也起内屏蔽作用。由于预载筒横向刚度大，大大提高了传感器的综合刚度和横向抗干扰能力。这种结构还在基座上设有应力槽，可起到隔离基座机械应变和热应变干扰的作用，但这种结构设计工艺比较复杂。 6.4.1 压电式加速度传感器 （2）剪切型 剪切型压电式加速度传感器是利用压电元件受剪切应力而产生压电效应原理制作的传感器。这类传感器的压电元件以选用压电陶瓷为佳。按压电元件结构形式的不同，剪切型压电式加速度传感器可分为环形剪切型、三角剪切型、H剪切型等。三种类型的剪切型压电式加速度传感器的结构如图所示。 6.4.1 压电式加速度传感器 （3）复合型 复合型压电式加速度传感器是指那些具有组合结构、差动原理、组合一体化的压电式传感器。两种最常见的类型如下。 ①三向加速度传感器 多晶片三向压电加速度传感器的结构如图所示。压电加速度传感器组件由三组具有x、y、z三向互相正交压电效应的压电元件组成。这三组压电元件分别感受三个方向的加速度，其中一组为压缩型，感受z轴方向的加速度，另外两组为剪切型，分别感受x轴和y轴方向的加速度。这三组压电元件的灵敏轴线互相垂直。三组压电元件分别输出与三个方向加速度成正比的电信号。 6.4.1 压电式加速度传感器 ② 组合一体化压电式加速度传感器 这种传感器早期是集压电传感器与电子线路于一身的组合一体化压电-电子传感器，又称压电管。其结构如图所示。如今，这类传感器大多为采用集成工艺制作的完全集成化的压电式加速度传感器。 6.4.1 压电式加速度传感器 加速度传感器的一般性能如下表所示。 一种市售压电加速度传感器系列的主要技术指标如表所示。 6.4.1 压电式加速度传感器 压电加速度传感器的几种结构如图所示： 图6.13 1-基座；2-压电片；3-质量体；4-弹簧；5-壳体 图6.15 (a)正装中心结构 (b)改进的隔离基座结构 (c)改进的倒装中心结构 (d)双筒双屏蔽新颖结构 1—壳体；2—顶紧螺母；3—质量块；4—压电片；5—基座；6—引线接头；7—顶紧筒 6.3.2 压电式传感器的测量电路 上式表明，w/w01时，前置放大器输入电压Uim与频率无关。一般当w/w03时，就可以认为Uim与w无关。这说明在测量电路时间常数一定的条件下，压电传感器高频响应很好，这是压电传感器的优点之一。 当w/w03，即被测动态量变化缓慢，而测量电路时间常数也不大，就会造成传感器灵敏度下降。因此，为降低频带下限，就必须提高测量回路的时间常数t。根据电压灵敏度的定义 6.3.2 压电式传感器的测量电路 当wR 1时，传感器的电压灵敏度Su近似为 显然，如果靠增大测量回路的电容提高t的话，就会影响到传感器的灵敏度，因此通常通过增加电阻R来提高时间常数。 6.3.2 压电式传感器的测量电路 当电缆长度改变时，传感器与前置放大器之间的连接电缆电容Cc也将改变，因此传感器与前置放大器组合系统的输出电压与电缆长度有关，使用时不能随意更换，否则将引入测量误差。 当作用于压电元件的力为静态力(w = 0)时，则前置放大器的输入电压等于零，因为电荷会通过放大器输入电阻和传感器本身漏电阻漏掉，所以压电传感器不能用于静态力测量。 6.3.2 压电式传感器的测量电路 例6.1 已知某压电式传感器测量最低信号频率f =1Hz，现要求在1Hz信号频率时其输出电压下降不超过5%，若采用前置电压放大器输入回