无尘室微量气悬污染物之.pptVIP

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2020-06-30 发布于福建
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无尘室微量气悬污染物之.ppt

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無塵室微量氣懸污染物(AMC)之污染行為何謂AMC? ■環境中有能力沈降於表面上形成單分子層( monolayer)薄膜之氟態化學污染物質」AMC的污染濃度並未與目前的潔浄室等級形成直接關僚,已有文獻報告指出 class1的有機氣態污染物之濃度可能比 class10退大[ Kitajima and shiramizu,1997] 曾有硏究指岀在等級為 class100潔浄室內總有機氣態污染物濃度約100μg/m3·而粒狀污染物濃度在的潔淨室約為20 ng/m3。故潔浄室內氰態分子污染物沈積於晶圓表面的速率 ( surface arrival rate)可能為微粒的數個階級以上。 AMC背景與現況口隨著半導體元件的加工線寬由0.25μm逐漸進入 0.18μm甚至到0.13μm以下’製程環境中微麈粒子或空降分子狀污染物( airborne molecular contamination,AMC)對產品良率影響也就更加顯著。口懸浮粒狀污染物(0.5mm)重要性相對降低:HEPA 99.97%(0.3m),ULPA99.999%(0.121m) Examples of T-topping (a) uncontaminated straight sidewall 41z向 a893 (b)low-level airborne contaminated -slight tilt on the top of profile SEM C ection of resist. coated wafer exposed to a 24-ppb concentration of amines for 11 minutes Severely T-topped apex e test wafer at ambient levels of only an 8-10 ppb concentration of amines AMRAn AMC之分類酸性物質( Acids) 鹼性物質( Bases) HE HaS AMINE HCL HNO L DoYT H NINAD Not Classified HMDS 凝縮性物質 IPA Acetone 摻雜物質 Condensables) (DO DOP DBP DEP B,H BF3 AsH3 Siloxanes bht TCEP TEP TPP SEMI Standard F21-95. 1996