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- 2020-06-29 发布于天津
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实用
干法腐蚀工艺培训讲义
目 录
第一章 基本概念
第二章 干法腐蚀基本原理
第三章 常用材料的等离子体腐蚀原理与工艺
第四章 在线干法腐蚀设备结构 / 原理简介
第五章 干法腐蚀工艺中的终点检测
第六章 干法去胶
第七章 在线腐蚀工艺中常见异常及处理方法
文档
实用
第一章 基本概念
1． WHAT IS ETCHED？
A process for removing material in a specified area through
chemical reaction and/or physical bomb
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