电子显微镜的讲义.pptVIP

第三部分 电子显微分析  电子显微分析 子显微镜基本原理 电子显微镜的发展簡史 2电子波的波长 4电磁透镜的缺陷 5电磁透镜的景深和焦长 6电子显微镜的构成 7与光学显微镜的比较  电子显微分析第一章电子显微镜基本原理 1电子显微镜的墩展简史(1) 94年得布罗意(cmge)波粒二家性假说 02E布什(了)不的电束 3年卷材大学的克苏(K户斯卡2调第台电浪点 199德国西子公司生产出第一批商用透射电镱(点分辨10m 195年 开始生产高压电镜(点分辨率优于03nm晶格条纹分辨率优于 0.14nm) 95年门:M明了多子成像方法开创了高分辨电子微术  电子显微分析第一聿电子显微镜基本原理 1电子显微镜的发展简史(2) 电子显微镜的诞生,首先在医学生物上得到 应用,随后用于金属材料究 1949年海登莱西( Heidenreich)第一个用 透射电镜观察了用电解减薄的铝试样 50年代开始,电镜直接观察到位错层错等以 前只能在理论上描迷的物理现象 1970年日本学者首次用透射电镜直接观察到 重金属金的原子近程有序排列,实现了人类两 千年来直接观察原子的夙愿。  电子显微分析第一聿电子显微镜基本原理 1电子显微镜的发展简史(3) 电子显微镜包括以下三种类型的仪器 扫描电子显微镜:用于微形貌观察、显微成 (SEM) 分分