微流控气动微阀设计及特性研究.pdfVIP

摘要 近些年来，由于各行各业对微型化设备是的需求攀升，微流控芯片技术发展 势头迅速。在一些常见的行业如生物、医学、制造行业等，微流控芯片的投入与 发展给相关的行业带入了新的生机与活力。顺利的完成对微流体的操控是微流体 芯片的核心功能，在微流控系统中，微阀是核心器件，可以通过微阀的作用实现 微流体的定向流动和控制整个芯片的开关功能。气动微阀是一种常用的微流控 芯片，顾名思义，该种微阀将压缩气体作为动力源，其优点有动态响应快，并且 结构简单，集成化方便，