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无机非金属材料测试方法第二章 电子显微分析Electron Micro-analysis主讲：刘悦;第二章;本章的主要内容;引言;引言;引言;引言;引言;引言;2.1 电子光学基础;2.1 电子光学基础;2.1 电子光学基础;2.1 电子光学基础;2.1 电子光学基础;2.1 电子光学基础;2.1 电子光学基础;2.1 电子光学基础;2.1 电子光学基础;2.1 电子光学基础;2.1 电子光学基础;2.1 电子光学基础;2.1 电子光学基础;2.1 电子光学基础;2.1 电子光学基础;2.1 电子光学基础;2.1 电子光学基础;2.1 电子光学基础;2.1 电子光学基础;2.1 电子光学基础;2.1 电子光学基础;2.1 电子光学基础;2.1 电子光学基础;2.1 电子光学基础;2.1 电子光学基础;2.1 电子光学基础;磁透镜与静电透镜的比较： 磁透镜与静电透镜都可作会聚透镜，但现代所有的透射电镜除电子光源外都用磁透镜做会聚镜，因为：;2.1 电子光学基础;2.1 电子光学基础;2.1 电子光学基础;2.1 电子光学基础;2.1 电子光学基础;2.1 电子光学基础;2.1 电子光学基础;2.1 电子光学基础;2.1 电子光学基础;2.2 电子与固体物质的相互作用;2.2 电子与固体物质的相互作用;2.2 电子与固体物质的相互作用;2.2 电子与固体物质的相互作用;2.2 电子与固体物质的相互作用;2.2 电子与固体物质的相互作用;2.2 电子与固体物质的相互作用;2.2 电子与固体物质的相互作用;2.2 电子与固体物质的相互作用;2.2 电子与固体物质的相互作用;2.2 电子与固体物质的相互作用;2.2 电子与固体物质的相互作用;2.2 电子与固体物质的相互作用;2.2 电子与固体物质的相互作用;2.2 电子与固体物质的相互作用;2.2 电子与固体物质的相互作用;2.2 电子与固体物质的相互作用;2.2 电子与固体物质的相互作用;2.2 电子与固体物质的相互作用;2.2 电子与固体物质的相互作用;2.2 电子与固体物质的相互作用;2.2 电子与固体物质的相互作用;第三节 透射电子显微分析;2.3 透射电子显微分析;2.3 透射电子显微分析;2.3 透射电子显微分析;2.3 透射电子显微分析;2.3 透射电子显微分析;2.3 透射电子显微分析;2.3 透射电子显微分析;2.3 透射电子显微分析;2.3 透射电子显微分析;2.3 透射电子显微分析;2.3 透射电子显微分析;2.3 透射电子显微分析;2.3 透射电子显微分析;2.3 透射电子显微分析;2.3 透射电子显微分析;2.3 透射电子显微分析; 近代电镜一般都有两个中间镜、两个投影镜。30万倍以上成象时，物镜、两个中间镜和两个投影镜同时起放大作用。低倍时，关掉物镜，第一个中间镜对试样进行第一次成象，这样因为物距加长，加之改变投影镜的电流，总的放大倍数可在仪一千倍以下。 图2-4、2-5是三级放大和极低放大率成象示意图。;图2-4 (a)高放大率;(2)成像放大系统 物镜 中间镜 投影镜 (3)图象观察记录部分 (4)样品台;物镜关闭 无光阑; 3. 显象部分 这部分由观察屏和照相机组成。 观察屏所在的空间为观察室。由于观察屏是用荧光粉制成的，所以常称观察屏为荧光屏。观察屏和照象底板放在投影镜的象平面上，两者隔一段距离。由于电镜的焦深大，尽管观察屏和照相底板相距十几个厘米，在观察屏上聚好焦后，将屏掀起，在照相底板上照相，象依然清晰。 有些仪器在观察室与投影镜之间设有辅助观察屏，这个屏上所成象的亮度为观察室内的二倍，可以用来观察试样在电子束辐照下的变化，或用2~5倍双筒观察镜在此观察聚焦的情况。 在分析电镜中，在观察室和荧光屏之间还装有探测器，用来收集透射电子和散射电子，以形成与常规透射电镜相对应的扫描透射电镜的暗场象。 在镜筒之下还有电子能损分析仪。工作时，衍射束经扫描线圈的偏转作用，逐个扫过入射光阑进入电子能量分析仪，不同能量的电子在静电场或磁场的作用下，产生不同程度的偏转而分散开来。再用能量选择光阑把不同能量的散射电子挑选出来，经探测器转换为电脉冲信号，经放大整理后显示在现象管的荧光屏上，或用X — Y记录仪描绘下来。;2.3 透射电子显微分析;2.3 透射电子显微分析;2.3 透射电子显微分析;2.3 透射电子显微分析;2.3 透射电子显微分析;2.3 透射电子显微分析;2.3 透射电子显微分析;2.3 透射电子显微分析;2.3 透射电子显微分析;2.3 透射电子显微分析;2.3 透射电子显微分析;2.3 透射电子显微分析;2.3 透射电子显微分析;2.3 透射电子显微分析;2.3 透射电子显微