原创力文档- 1、本文档共29页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
Confidential Empower The World 1 VDMOS 工艺流程简介 InPower Semiconductor Apr .2012 Confidential Empower The World 2 主要内容 ? MOSFET 的结构 ; ? MOSFET 的芯片制成工艺； ? 封装测试工艺流程 ; ? MOSFET 主要控制点； ? 生产测试仪器的介绍 Confidential Empower The World 3 MOSFET 的结构 Confidential Empower The World 4 芯片制造工艺流程 材料制备 氧 化 SOURCE 光刻 P-WELL 注入 多晶注入 多晶光刻 多晶淀积 栅氧化 JFET 注入 氧 化 Active 光刻 P+ 扩散 P+ 注入 Ring 光刻 P-WELL 退火 SOURCE 注入 退 火 PSG 淀积 载流子寿命控制 PSG 退火 接触孔光刻 AL 溅射 钝 化 钝化光刻 AL 光刻、合金 减 薄 背面蒸发 中 测 Confidential Empower The World 5 Confidential Empower The World 6 Confidential Empower The World 7 Confidential Empower The World 8 Confidential Empower The World 9 Confidential Empower The World 10 Confidential Empower The World 11 Confidential Empower The World 12 Confidential Empower The World 13 Confidential Empower The World 14 Confidential Empower The World 15 最终器件结构 Confidential Empower The World 16 Die Picture 2.45 mm 3.19 mm G S 0.61 mm 0.82 mm 0.54 mm 0.49 mm Confidential Empower The World 17 封装测试工艺流程 划 片 装 片 塑 封 打 印 电 镀 键 合 切 筋 测 试 包 装 Confidential Empower The World 18 划片 Confidential Empower The World 19 装片 Confidential Empower The World 20 键合 Confidential Empower The World 21 塑封 Confidential Empower The World 22 打印
文档评论（0）