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椭偏光谱原理和技术本章通过介绍椭偏光谱的基本原理光度型椭偏光谱仪以及椭偏光谱分析特点给出了椭偏光谱技术在离子注入的辐照损伤以及材料光学性质研究中的应用和局限利用椭偏光谱技术结合其它分析手段并建立精细的分析模型椭偏光谱技术能够从复杂的材料结构中快速精确和方便地测量并分析各层结构的厚度成份气孔率和光学常数椭偏光谱技术将在材料的光学性质研究和离子注入的辐照损伤研究等方面发挥积极的作用引言椭偏术起源于一百多年前它是一种用来研究媒质界面或其原理是利用偏振光束在界面或薄膜上的反射或透射薄膜特性的光学方法时出
椭偏光谱原理和技术
本章通过介绍椭偏光谱的基本原理、光度型椭偏光谱仪以及椭偏光谱分析特点，给出了椭偏光谱技术在离子注入的辐照损伤以及材料光学性质研究中的应用和局限。利用椭偏光谱技术，结合其它分析手段并建立精细的分析模型，椭偏光谱技术能够从复杂的材料结构中，快速、精确和方便地测量并分析各层结构的厚度、成份、气孔率和光学常数。椭偏光谱技术将在材料的光学性质研究和离子注入的辐照损伤研究等方面发挥积极的作用。
§3.1 引言
椭偏术（Ellipsometry）起源于一百多年前，它是一种用来研究媒质界面或[1-2]。其原理是利用偏振光束在界面或薄膜上的
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