RuO2和VO2薄膜的外延生长及特性研究.doc

RuO2和VO2薄膜的外延生长及特性研究 单位代码: 分类号: 学 号: 密级: ⑧‖蔡办孑 硕士学位论文 论文题目:轧秘归蔼莫值外跹生仗及精垃筇凌 巳印搬觇了破朋№贼托反 。纵以加诜十、抓‘ 姓 名 作者 学院 名 称 名 称 专业 教 师 指导 导 师 合作 加侈年,月踟四四《四四硼原创性声明 本人郑重声明:所呈交的学位论文,是本人在导师的指导下,独 立进行研究所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外,本论文不 包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的科研成果。对本文的研 究作出重要贡献的个人和集体,均已在文中以明确方式标明。本声明 的法律责任由本人承担。 日日 论文作者签名:翊逢 § 论文作者签名:竭适虿 关于学位论文使用授权的声明 本人完全了解山东大学有关保留、使用学位论文的规定,同意学 校保留或向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版,允许论 文被查阅和借阅;本人授权山东大学可以将本学位论文的全部或部分 内容编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印或其他复制手段 保存论文和汇编本学位论文。 保密论文在解密后应遵守此规定 论文储签名:垃蝉导师签名:蚀期:址:玉:矿山东大学硕士学位论文 目 录 摘要..?.?.?... 第一章绪论. 第一节研究背景? 第二节二氧化钌的研究?. ..氧化钌的结构及性质??. ..二氧化钌薄膜的研究现状. 第三节二氧化钒的研究?. ..二氧化钒的晶体结构和能带结构. ..二氧化钒薄膜的物性??.. ..二氧化钒的相变机理.. 的薄膜研究现状?一 ...二氧化钒薄膜的制备技术? ... 薄膜的应用前景 第四节本论文的研究动机和研究内容? 第二章样品的制备技术与测试分析方法? 第一节脉冲激光沉积技术 ..脉冲激光沉积的原理..脉冲激光沉积的优缺点? ..实验室用激光脉冲沉积设备简介 第二节薄膜的测试方法? ..反射式高能电子衍射.. 射线衍射??.. ..四针法测电阻..拉曼光谱测量..其他的一些测量? 第三章二氧化钌薄膜的外延生长及物性研究?一 第一节引言 山东大学硕士学位论文 第二节样品制备? 第三节实验结果及讨论? .. 的晶体结构及形貌特征?. .. 的电输运性质第四节章节总结? 第四章:二氧化钒薄膜的外延生长及研究??.. 第一节前言??. 第二节样品的制备 第三节实验结果及分析? ..在衬底上外延生长薄膜的研究 ..在 衬底上外延生长薄膜的研究 ..在.衬底上生长薄膜的研究? 第四节本章小结. 第五章:/双层薄膜的制备及研究. 第一节 前言? 第二节样品制备. 第三节实验结果及分析? .. //结构的研究 .。 //.结构的研究?.. 第三节本章小结.. 第六章总结与展望. 第一节本论文主要内容及结论. 第二节论文的创新点及工作展望??. 参考文献??. 致谢??. 攻读硕士学位期间发表的论文??.山东大学硕士学位论文??....??.?.??“ .... ..?. ..??“ .. ..... ...一 ...??.... .. ..??” .. .. ..? ..??. .. 山东大学硕士学位论文.....??.......??..??...??... .. 】 .....?.?...??.....?.?.??.?.. .....??...??.??....?.?..??...?...??....... ???.?.。.。... /.??..??.?.?....... // ?.??... ., //??...?.。.??.. ?.??.?............??........?.??.?..?.?..??.??..一山东大学硕士学位论文 摘要 金红石结构过渡金属氧化物、、、、等因为其 特殊多样的物理性质,在很多领域有着广泛的应用价值,一直是新型功能材料研 究的热点。是一种四方金红石结构.,.的氧化 物,具有低电阻率、较高的功函数约为.、较好的热稳定性和耐化学腐 蚀等性质,一直作为一种重要的电极材料应用在薄膜电阻器、铁电随机存储器、 动态随机存储器、有机薄膜晶体管等中。有报道金红石相的作为种子层能 进一步促进其他金红石氧化物如金红石相的生长。在。附近发 生金属与半导体之间的相变,发生相变时通常伴随着晶体结构、光学和电学常数 的巨大变化。的这种相变除了可以由热导致外,还可以通过加电压或电场、 光照等方式触发。研究还发现在薄膜生长中,通过选择合适的衬底利用应力作用 其相变的转变温度可以进行调节,甚至可以调到室温。的这些特殊的性质使 得其在很多领域有着重要的应用价值,如两端转换装置、莫特场效应管、振荡器、 热敏电阻材料、光致开关材料,智能玻璃窗涂层,太阳能温控装置等。本文主要 探索了用激光脉冲沉积设备,在具有相似