Q_VACI 003-2020EM外置式类金刚石用旋转阴极.pdf

Q/VACI 威海斡兹真空科技有限公司企业标准 Q/VACI 003-2020 EM 外置式类金刚石用旋转阴极 2020-05-13 发布 2020-05-14 实施 威海斡兹真空科技有限公司发布 前言 本标准是依据GB/T1.1-2009 《标准化工作导则第一部分：标准的结构和编写》的要求编写的。 本标准所有内容应符合国家强制性标准、行业标准及地方标准，若与其相抵触时，以国家标 准、地方标准为准。 本标准由威海斡兹真空科技有限公司提出。 本标准起草单位：威海斡兹真空科技有限公司。 本标准主要起草人：郭江涛、王同威。 本标准为首次发布。 本标准由威海斡兹真空科技有限公司负责解释。 Q/VACI 003-2020 EM 外置式类金刚石用旋转阴极 1. 范围 本标准规定了EM 外置式类金刚石用旋转阴极生产的形式与基本参数、技术要求、试 验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。 2. 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版 本适用与本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本 （包括所有的修改单）适用于 本文件。 GB/一般公差 未注公差的线性和角度尺寸的公差 GB 5226.12008 机械电气安全，机械电气设备 第一部分：通用技术条件 GB 157602004 金属切削机床 安全防护通用技术条件 GB/T25376--2010 金属切削机床 机械加工件通用技术条件 GB/T25373--2010 金属切削机床 装配通用技术条件 GB/T 13306--2011 标牌 GB/T 191—2008 包装储运图示标志 GB/T 19436.1—2013 机械电气安全 电敏保护设备 第一部分：一般要求和试验 3. 形式与基本参数 3.1 结构形式 EM 外置式类金刚石用旋转阴极由传动系统、驱动轴、密封套、导电块.冷却系统、保护 装置等组成。 3.2 基本参数 序号 名称 数值 1 电机工作电压 220V/380V 2 阴极额定功率 60kw 3 阴极额定电压 1000V 4 阴极额定电流 225Amps 5 阴极真空侧最高工作温度 120℃ 6 阴极最高进水温度 <45℃ 7 阴极最低进水温度 非冷凝 8 阴极端头对地电阻 （未通水） ≥1MΩ at 2500V 9 电源线 靶材电阻 ≤0.2 AC — Ω 4 . 技术要求 4.1 外观要求 4.1.1