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21 世纪的精密加工技术的发展趋势分析 袁花荣 数控机床 精密加工是指亚微米级(尺寸误差为 0.3～0.03 μm，表面粗糙度为Ra0.03～0.005 μ m)和纳米级 (精度误差为 0.03 μm，表面粗糙度小于Ra0.005 μm)精度的加工。实现这些 加工所采取的工艺方法和技术措施，则称为精密加工技术。加之测量技术、环境保障和 材料等问题，人们把这种技术总称为超精工程。精密加工主要包括三个领域：精密切削 加工如金刚石刀具的精密切削，可加工各种镜面。它已成功地解决了用于激光核聚变系 统和天体望远镜的大型抛物面镜的加工。精密磨削和研磨加工如高密度硬磁盘的涂层表 面加工和大规模集成电路基片的加工。精密特种加工如大规模集成电路芯片上的图形是 用电子束、离子束刻蚀的方法加工，线宽可达 0.1 μm。如用扫描隧道电子显微镜(STM) 加工，线宽可达 2～5nm。 a.精密切削 精密切削以 SPDT 技术开始，该技术以空气轴承主轴、气动滑板、高刚性、高精度 工具、反馈控制和环境温度控制为支撑，可获得纳米级表面粗糙度。多采用金刚石刀具 铣削，广泛用于铜的平面和非球面光学元件、有机玻璃、塑料制品 (如照相机的塑料镜 片、隐形眼镜镜片等)、陶瓷及复合材料的加工等。未来的发展趋势是利用镀膜技术来 改善金刚石刀具在加工硬化钢材时的磨耗。此外 MEMS 组件等微小零件的加工需要微小 刀具，目前微小刀具的尺寸约可达 50～100 μm，但如果加工几何特征在亚微米甚至纳米 级，刀具直径必须再缩小，其发展趋势是利用纳米材料如纳米碳管来制作超小刀径的车 刀或铣刀。 b.精密磨削 精密磨削是在一般精密磨削基础上发展起来的一种镜面磨削方法,其关键技术是金 刚石砂轮的修整,使磨粒具有微刃性和等高性。精密磨削的加工对象主要是脆硬的金属 材料、半导体材料、陶瓷、玻璃等。磨削后,被加工表面留下大量极微细的磨削痕迹,残 留高度极小,加上微刃的滑挤、摩擦、抛光作用,可获得高精度和低表面粗糙度的加工表 面，当前精密磨削能加工出圆度 0.01 μm、尺寸精度 0.1 μm 和表面粗糙度为 Ra0.005 μ m 的圆柱形零件。 c.精密研磨 精密研磨包括机械研磨、化学机械研磨、浮动研磨、弹性发射加工以及磁力研磨等 加工方法。精密研磨的关键条件是几乎无振动的研磨运动、精密的温度控制、洁净的环 境以及细小而均匀的研磨剂。精密研磨加工出的球面度达 0.025 μm,表面粗糙度 Ra 达 0.003 μm。 d.精密特种加工 精密特种加工主要包括激光束加工、电子束加工、离子束加工、微细电火花加工、 精细电解加工及电解研磨、超声电解加工、超声电解研磨、超声电火花等复合加工。激 光、电子束加工可实现打孔、精密切割、成形切割、刻蚀、光刻曝光、加工激光防伪标 志；离子束加工可实现原子、分子级的切削加工；利用微细放电加工可以实现极微细的 金属材料的去除,可加工微细轴、孔、窄缝平面及曲面；精细电解加工可实现纳米级精 度,且表面不会产生加工应力,常用于镜面抛光、镜面减薄以及一些需要无应力加工的场 合。 精密加工技术在国际上处于领先地位的国家有美国、英国和日本。这些国家的精密 加工技术不仅总体成套水平高，而且商品化的程度也非常高。美国 50 年代未发展了金 刚石刀具的精密切削技术，称为 “SPDT技术” （SinglePointDia-mondTurning）或“微 英寸技术”（1 微英寸＝0.025 μm），并发展了相应的空气轴承主轴的精密机床，用于 加工激光核聚变反射镜、战术导弹及载人飞船用球面、非球面大型零件等。英国克兰菲 尔德技术学院所属的克兰菲尔德精密工程研究所（简称 CUPE）是英国精密加工技术水平 的独特代表。如CUPE 生产的 Nanocentre （纳米加工中心）既可进行精密车削，又带有 磨头，也可进行精密磨削，加工工件的形状精度可达 0.1 μm，表面粗糙度Ra10nm。日 本对精密加工技术的研究相对于美、英来说起步较晚，但是当今世界上精密加工技术发 展最快的国家。 北京机床研究所是国内进行精密加工技术研究的主要单位之一，研制出了多种不同 类型的精密机床、部件和相关的高精度测试仪器等，如精度达 0.025 μm 的精密轴承、 JCS—027 精密车床、JCS—031 精密铣床、JCS—035 精密车床、精密车床数控系统、复 印机感光鼓加工机床、红外大功率激光反射镜、精密振动－位移测微仪等，达到了国