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实用标准文案 生物洁净室 一、定义 洁净室 (Clean Room) ，亦称为无尘室或清净室。 生物洁净室 洁净室是空气悬浮粒子浓度受控的房间， 其建造和使用方式可最大限度减少房间进入的、 产 生的和滞留的粒子。 房间内的温度、 湿度、压力等其他相关参数均按要求受控 （ISO 14644-6 ） 洁净室最主要之作用在于控制产品 (如硅芯片等 )所接触之大气的洁净度日及温湿度，使 产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为「洁净室」。 世界各国均有自定规格， 但普遍还是用美国联邦标准 209 为多，以下仅就 209D 及 209E 和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。 209E 与 209D 等最大之不同在于 209E 表示单位增加了公制单位，洁净室等级以‵ M ′ 字头表示，如 M1 、M1.5 、M2.5 、M3 …..依此类推，配合国际公制单位之标准化， M 字母 后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中 =0.5 μm 之微尘粒子数目字以 10 的幂次方表示，取 指数为之，若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间，则以 1.5 、2.5 、3.5 ….表示。 美国联邦标准 FS 209D 都以英制每立方英尺为单位，日本则是采用公制，即以每立方 公尺为单位，以 0.1 μm 微粒子为计数标准。日本标准之表示法以 Class 1 ，Class 2 ，Class 精彩文档 实用标准文案 3 ……Class8 表示，最好的等级为 Class 1 ，最差则为 Class 8 ，以每立方公尺中微尘粒子总 数中化为 10 的幂次方，取其指数而得。 二、控制项目 1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。 2. 能防止微尘粒子之产生。 3. 温度和湿度之控制。 4. 压力之调节。 5. 有害气体之排除。 6. 结构物与隔间之气密性。 7. 静电之防制。 8. 电磁干扰预防。 9. 安全因素之考虑。 10. 节能之考量。 三、分类 3.1 乱流式（ Turbulent Flow) 空气由空调箱经风管与无尘室内之空气过滤器（ HEPA ）进入无尘室，并由无尘室两侧 隔间墙板或高架地板回风。 气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。 乱流无尘室靠 精彩文档 实用标准文案 送风气流不断稀释室内空气， 将污染空气逐渐稀释， 来实现洁净的。 气次数决定定义中的净 化级别（换气次数越多，净化级别越高）。此型式适用于无尘室等级 1,000-100,000 级。 优点：构造简单、系统建造成本，无尘室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并 用无尘工作台，提高无尘室等级。 缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制 程产品。 另外若系统停止运转再激活， 欲达需求之洁净度， 往往须耗时相当长一段时间。 3.2 层流式（ Laminar) 层流式空气气流运动成一均匀之直线形， 空气由覆盖率 100% 之过滤器进入室内， 并由 高架地板或两侧隔墙板回风， 此型式适用于无尘室等级需定较高之环境使用， 一般其无尘室 等级为 Class 1~100 。其型式可分为二种： ⑴水平层流式： 水平式空气自过滤器单方向吹出， 由对边墙壁之回风系统回风， 尘埃随