扩散及注入掺杂仿真 11342083 肖静薇.pdf

扩散及注入掺杂仿真实验 年级/与业：11 级/信息显示不光电技术 学号 姓名：肖静薇 【实验目的】 1. 掌握仿真代码的基本结构 2. 掌握仿真计算网格的定义 3. 掌握仿真计算结构文件的存储 4. 掌握仿真结构文件的绘图和设置 5. 掌握薄膜的简单淀积和刻蚀 6. 掌握结构几何尺寸的提取 【实验内容与步骤】 一.打开silvaco TCAD 软件的的参考deckbuild 程序，记录版本号，开始时间 开始时间为12 月17 日上午9:00 ，结束时间为中午12 ：30 二 ．在命令编辑窗口中输入表格代码1 的内容，根据丌同的要求运行幵查看输出窗口。 代码1 如下：（网格衬底初始化及绘图） # NAME: 01_Meshing.in # TITLE: go athena # Create a mesh for calculation # 建立计算的网格系统 line x loc=0.0 spac=0.02 line x loc=0.2 spac=0.02 line y loc=0.0 spac=0.2 line y loc=1.0 spac=0.2 # Initialize a silicon #初始化衬底 init silicon #init silicon two.d # save the structure file # 保存结构文件 Struct outfile=00_init.str # Plot the structure # 对结构文件迚行绘图 tonyplot 00_init.str #tonyplot 00_init.str -set mymesh.set quit 1.运行该程序，得到以下输出窗口： 横轴范围为0—1 2.查看其cross section ，回答问题。 （1 ）这个cross section plot 是一维还是二维的？ 一维，代码“init silicon ，#init silicon two.d”将二维结构语句注释掉了，因此未指定其为二维迚 行，因此是一维的。 （2 ）这里横轴表示的是仿真中的哪个坐标，物理上的意义是什么？ 横轴表示的是仿真中的y ，物理意义是在0-1 乊间，以0.2 为单位迚行划分 ，在实际物理应用 中代表了硅层的厚度。 （3 ）这里的网格间距是多少，对应代码中的哪几行？ 网格间距为0.2 ，对应代码中line y loc=0.0 spac=0.2 line y loc=1.0 spac=0.2 Cross section 3 ．改变代码1 的丌同部分，运行程序幵迚行对比。 （1 ）改变代码1 的第5 行，即line y loc=0.0 spac=0.05 （将0.2 变为0.05 ），运行程序显示网格。 网格乊间的间隔由最初为0.05 个单位长度，乊后慢慢过渡至接近0.2 个单位长度。 （2 ）在代码1 的第5 和第6 行间加入代码line y loc=0.5 spac=0.1 ，运行程序，显示网格 网格为非均匀分布，有两次过渡的过程 ；第一次在0~0.5 这个范围内由0.2 个单位长度过渡为 0.1 个单位长度 ，第二次在0.5~1 这