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电子的共有化运动 共有化运动的能量 原子能级分裂为能带的示意图 金刚石型结构价电子能带示意图 导带 价带 禁带 ? 晶体中的原子与孤立原子的电子不同，也 和自由运动的电子不同。 半导体中电子的状态和能带 单电子近似认为，晶体中某一个电子是在 周期性排列且固定不动的原子核势场和其 他大量电子的势场中运动。 研究发现，电子在周期性势场中运动的基 本特点和自由电子运动十分相似。 布里渊区与能带 简约布里渊区与能带 金刚石型结构的第一布里渊区 导体、半导体、绝缘体的能带 (a) 绝缘体 (b) 半导体 (c) 导体 1.3 半导体中电子的运动 有效质量 ? E(k) 和 k 之间的关系 之前只给出了一个定性的关系，对 E(k) 和 k 的关系式并不清楚。 通常半导体中，起作用的是导带底或价带 顶的电子，需考虑能带极值附近 E(k) 和 k 的 关系。 1.4 本征半导体的导电结构 空穴 1.5 回旋共振 ? 不同的半导体材料，其能带结构不同，从 理论上难以确定 E 与波矢 k 的关系，需借助 实验的帮助。 ? 回旋共振实验用于测量半导体中载流子有 效质量及能带结构。 1.6 硅和锗的能带结构 1. 导带结构 对硅来说， （ 1 ）当 B 沿 [111] 晶轴方向，只能观察到一个吸收峰； （ 2 ）当 B 沿 [110] 晶轴方向，可以观察到两个吸收峰； （ 3 ）当 B 沿 [100] 晶轴方向，也能观察到两个吸收峰； （ 4 ）当 B 沿任意晶轴方向，可以观察到三个吸收峰。 若等能面是球面，那么只能观察到一个吸收峰 。 ? 物质存在的形式多种多样，固体、液体、气体、 等离子体等等。 ? 通常把导电性和导电导热性差或不好的材料， 如金刚石、人工晶体、琥珀、陶瓷等等，称为 绝缘体。 ? 而把导电、导热都比较好的金属如金、银、铜、 铁、锡、铝等称为导体。 ? 可以简单的把介于导体和绝缘体之间的材料称 为半导体。 半导体物理发展进程 半导体物理的发展序幕 晶态半导体物理 原子排列从有序向无序的转变 非晶态半导体物理 材料性质从体内向表面的转变 半导体表面物理 能带特征从自然向人工的转变 半导体超晶格物理 体系结构从三维向零维的转变 纳米半导体物理 元素组成从原子向分子的转变 有机半导体物理 半导体物理学研究对象 ? 研究半导体的各种物理性质及其内在规 律。 ? 研究在外界作用下 ( 掺杂、电场、温度场、 磁场 ) 半导体性质的变化及其原因。 ? 半导体种类繁多，本课程主要针对硅基 晶态半导体作为研究对象。 学习本课程的基础课程 量子力学 半导体 物理 固体物理 热力学 统计物理 主要参考书： 半导体物理学，第 7 版，刘恩科，朱秉升， 罗晋生等编，电子工业出版社， 2008 年 其他参考书： 半导体物理与器件，裴素华，机械工业出版 社 , 2008 年 9 月 固体物理，方俊鑫，上海科技出版社， 1995 ? 1.1 半导体的晶格结构和结合性质 ? 1.2 半导体的电子状态和能带 ? 1.3 半导体中电子的运动 有效质量 ? 1.4 本征半导体的导电机构 空穴 ? 1.5 回旋共振 ? 1.6 硅和锗的能带结构 第一章 半导体中的电子状态 1.1 半导体的晶格结构和结合性质 ? 半导体的单晶材料和其他固态晶体材料一 样，是由大量原子周期性重复排列而成。每 个原子又包含原子核和核外电子。 单电子近似方法，即假设每个电子是在 周期性排列且固定不动的原子核势场及 其他电子的平均势场中运动。该势场具 有与晶格同周期的周期性势场。 三种简单格子 ? 简立方 ? 体心立方 ? 面心立方 原胞：重复的单元。 边长等于该方向上的周期，结点为顶点的平行六 面体 晶体学原胞： 为反映晶体的对称性，体积不一定最小 布喇菲点阵 多种原子：同种原子组成子晶格 相对位移形成复式格子。 相对结构子晶格相互位移套构而成 结晶学 晶体学中的布喇菲原胞，按对称特点来选取。基 矢在晶轴方向，固体物理学中选取的原胞，不是 任意重复单元，基矢方向和晶轴方向还是有一定 的相对取向。 结晶学中的立方晶系 , 布喇菲原胞 简立方 ( SC ) 体心立方 ( BCC ) 面心立方 ( FCC ) 1. 金刚石型结构和共价键 Si ， Ge 都是第四周期的 元素，即外层有四个价 电子。硅、锗的结合依 靠共价键结合，组成金 刚石型结构。结构特点： 每一个原子周围有四个 最邻近的原子，这四个 原子分别处在四个顶角 上，任一顶角的原子和 中心原子各贡献一个价 电子为两个原子所共有。 四面体的结合 结晶学原胞 两个面心立方沿立方 体的空间对角线互相 位移了空间对角线四 分之一的长度套构而 成。 8 个原子在角顶， 6 个 在面中心，晶胞内部 有 4 个原子，顶角和 面心与这 4