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实用标准文案 实验三、压力，位移与振动 I 压阻式压力传感器的压力测量实验 一、实验目的： 了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理和方法。 二、实验仪器： 主机箱、压阻式压力传感器、压力传感器实验模板、引压胶管。 三、实验原理： 1) 压阻效应——是指当半导体受到应力作用时，由于载流子迁移率的变化，使其电 阻率发生变化的现象。 2 ）基本原理 扩散硅压阻式压力传感器在单晶硅的基片上扩散出 P 型或 N 型电阻条，接成电桥。 在压力作用下根据半导体的压阻效应，基片产生应力，引起电阻条电阻的变化，我们把 这一变化引入测量电路，则其输出电压的变化反映了所受到的压力变化。 四、实验内容与步骤： 1、将压力传感器安装在实验模板的支架上，按照图 1-1 连接管路和电路（主机箱 内的气源部分，压缩泵、贮气箱、流量计已接好） 。引压胶管一端插入主机箱面板上气 源的快速接口中（注意管子拆卸时请用双指按住气源快速接口边缘往内压，则可轻松拉 出），另一端口与压力传感器相连。 注意 ： 压力传感器引线为 4 芯线： 1 端接地线， 2 端为 U0 ＋ ，3 端接＋ 4V 电源，4 o － 端为 U ，接线见图 1-1 图 1-1 压阻式压力传感器测压实验安装、接线 2、实验模板上 RW2用于调节放大器零位， RW1调节放大器增益。按图 1-1 将实验模板 精彩文档 实用标准文案 的放大器输出 V 接到主机箱 ( 电压表 ) 的 Vin 插孔，将主机箱 中的 显示选择开关拨 02 到 2V 档，合上主机箱电源开关， RW1旋到满度的 1 ／3 位置 ( 即逆时针旋到底再顺时针旋 2 圈) ，仔细调节 RW2使主机箱电压表显示为零。 3、合上主机箱上的气源开关，启动压缩泵，逆时针旋转转子流量计下端调压阀的 旋钮，此时可看到流量计中的滚珠在向上浮起悬于玻璃管中，同时观察气压表和电压表 的变化。 4、调节流量计旋钮，使气压表显示某一值，观察电压表显示的数值。 5、仔细地逐步调节流量计旋钮，使压力在 2－18KPa之间变化，每上升 1KPa气压 分别读取电压表读数，将数值列于表图 1-1 。 表 1-1 P(KPa) Vo(p-p) 6 、实验完毕，关闭电源。 五、实验报告 1、画出 P-V 实验曲线图。 2、计算本系统灵敏度 S 和非线性误差δ。 S＝ ΔU/ ΔP( ΔU 为输出电压变化量，Δ P 为压力变化量 ) δ= Δm/yFS ×100％ （Δm为输出值与拟合直线的最大偏差： yFS满量程输出平均值，此处为 18KPa） 六、思考题 如何将本实验装置设计成为一个压力计。 参考：如果本实验装置要成为一个压力计，则必须对电路进行标定，方法采用逼近法： 输入 4KPa气压，调节 Rw2（低限调节），使电压表显示 0.25V( 有意偏小 ) ，当输入 16KPa 气压，调节 Rw1 （高限调节）使电压表显示 1.2V( 有意偏小 ) ；再调气压为 4KPa，调节 Rw2 （低限调节），使电压表显示 0.3V( 有意偏小 ) ，调气压为 16KPa，调节 Rw1（高限调 节）使电压表显示 1.3V( 有意偏小 ) ；这个过程反复调节直到逼近自己的要求 (4KPa— 0.4V ，16KPa— 1.6V) 即可。 精彩文档