椭圆偏振光谱法测量单晶硅光学常数.pptVIP

椭圆偏振光谱法测量单晶硅的光 学常数 绍兴文理学院数理信息学院  实验目的 ☆掌握椭偏光测量薄膜的厚度和折射率的原理 学会使用椭圆偏振光和分析单晶硅的折射率、 消光系数与波长的关系  实验原理 光是一种电磁波,全面描述光波,除了波长 频率和传播方向外,还需要用振幅、相位和 偏振方向。偏振方向分为x方向和y方向两个 分量。 自然光 光 线偏振光 偏振光 椭圆偏振光  在一光学材料上镀各向同性的单层介质膜后,光线的反射和折 射在一般情况下会同时存在的。通常,设介质层为n1n2n3q1为 入射角,2和q3是在膜和衬底中的折射角,那么在1、2介质交界 面和2、3介质交界面会产生反射光和折射光的多光束干涉 入射光 空气n1 界面I 薄膜n2 界面Ⅱ 衬底n3 图3-1入射光在薄膜中传播的示意图  n, sin p =n, sin pp=n3 sin p3 (1) 根据多束光干涉公式,可求出总反射系数R,和R lis +rs exp(2id 2+E2exp(-20)(2)1+22xp(-2)(3) Re 1+/ 2p exp(-2io) 其中, a×n2cOSq 2rd n2-n, sin 式中的入是光在真空中的波长,d是膜厚。