等离子体化学3分解.pptVIP

第三章等离子体的发生 获取 plasma的方法和途径很多。涉及经典 的微观过程,物理效应和实验方法。 直流放电 宇宙 放射 天体 放射性同位素 高频放电 上层大气 X射线 微波放电 粒子加速器 感应放电 反应堆 等离子体 场致电离 [真空紫外光 [辉光下的利用 燃烧 图3.1等离子体的形成 3.1等离子体的主要发生方法 P1O7图3.1 3.1.1气体放电法 (1)常用的电场类型:(按电场的频率不 同:直流放电,低频,高频,微观放电等) a:直流:简单易行 b:低频:1-~100KHz c:高频:10~100MHz,属于无线电波频谱范 围,故称射频放电(RF放电),常为13.56MHz d:微波:超过1GHz,(MW放电为2450MHz), 它能导致电子回旋共振,增加放电频率,有利于提 高工艺质量。 (2)主要放电形式P109图3.2,P111表3-1 (3)电场和气压对等离子体的性质的影响P111 图3.3。 a:注意:在低压,强电场条件下,电流密度 小时容易产生辉光放电,电流密度增大到一定 值后过度到弧光放电 b:若一个大气压或更高的气压下,可不经过 辉光放电直接从电晕放电过度到弧光放电 (4)等离子体温度与气压的关系:P112图3.4 电的动 气体敢 度、两12每下