等离子体和固体表面相互作用原理.pptVIP

等离子体物理专业硕士生选修课程 等离子体与圄体表面相互作用原理 大连理工大学物理糸 2004年2月  Content Chapter 1: Introduction Chapter 2: Plasma sheaths Chapter 3: Tow-body elastic collisions in solids Chapter 4: Nuclear stopping power Chapter 5: Electronic stopping power Chapter 6: Project-range theory for energetic ions n solids Chapter 7: Sputtering physics Chapter 8: Secondary electron emission  第一章:引言 等离子体特性 1、成分的复杂性 对于等离子体合成薄膜及等离子体刻蚀等工艺过 程,通常采用一些化学活性的气体作为工作气体。这 些气体电离后含有丰富的粒子种类,如电子、离子、 原子、分子、离子团、活性基团及光子。  如合成类金刚石薄膜,采用的工作气体为CH4和H2, 这样形成的 Plasma中有 H+,H2,H,H2 CHI, CH3, CH2, CH  如利用CF4进行等离子体刻蚀工艺, Plasma中有 CF,