第9章 电子光学基础.ppt

第九章 电子光学基础 【教学内容】 1. 电子波与电磁透镜。 2. 电磁透镜的分辨率。 3. 透镜的景深和焦长。 【重点掌握内容】 1. 电磁透镜的像差。 2. 电磁透镜的分辨本领。 3. 电磁透镜的景深和焦长。 【教学难点】 电子在磁场中的运动和磁透镜。 一 . 电镜的发展历史 ? 1924 年，德布罗意 计算出电子波的波长 ? 1926 年，布施发现轴对称 非均匀磁场能使 电子波聚焦 ? 1932 ～ 1933 年间，德国的劳尔和鲁斯卡等 成功研制世界上第一台电子显微镜 ? 1939 年， 德国的西门子公司生产出分辨本 领优于 10nm 的商品电子显微镜 ( 一 ) 光学显微镜的局限性 ? 一个世纪以来，人们一直用光学显微镜来 揭示金属材料的显微组织，借以弄清楚组 织、成分、性能的内在联系。 但光学显微 镜的分辨本领有限，对诸如合金中的 G.P 区（几十埃）无能为力 。 二 . 电子波与电磁透镜 ? 最小分辨距离计算公式 0.61 sin d n ? ? ? ? ? n d ? sin n ? ? 其中： —— 最小分辨距离 —— 波长 —— 透镜周围的折射率 —— 透镜对物点张角的一半 —— 称为数值孔径 O 1 O 2 d L B 2 B 1 Md 强度 D 图（ a ）点 O 1 、 O 2 形成两个 Airy 斑；图（ b ）是强度分布 （ a ） （ b ） 图（ c ）两个 Airy 斑 明显可分辨出 图（ d ）两个 Airy 斑 刚好可分辨出 图（ e ）两个 Airy 斑 分辨不出 I 0.81I ? 对于光学显微镜， N.A 的值均小于 1 ，油浸透镜也 只有 1.5 － 1.6 ，而可见光的波长有限，因此，光学 显微镜的分辨本领不能再次提高。 ? 提高透镜的分辨本领：增大数值孔径是困难的和 有限的， 唯有寻找比可见光波长更短的光线才能 解决这个问题 。 ? N.A_ （ Numerical Aperture ) 光纤的数值孔径， 是指能够保证全反射的最大入射角度。表示光纤 接收和传输光的能力。一般用一个光锥去描述， 这个光锥角的正弦值大小就是数值孔径。 ( 二 ) 电子的波长 ? 比 可见光波长更短的电磁波 有： 1 ） 紫外线 —— 会被物体强烈的吸收； 2 ） X 射线 —— 无法使其会聚 ； 3 ） 电子波 ? 根据德布罗意物质波的假设，即电子具有微 粒性，也具有波动性。 h mv ? ? 2 1 2 mv eE ? 2 v eU m ? 2 h emU ? ? 电子波长与加速电压的关系（经相对论修正） 加速电压（ kV ） 10 20 30 50 60 波长（ ? ） 0.122 0.0859 0.0698 0.0536 0.0487 加速电压（ kV ） 70 100 200 500 1000 波长（ ? ） 0.0448 0.0370 0.0251 0.0142 0.0087 ? 电子可以凭借轴对称的非均匀电场、磁 场的力，使其会聚或发散，从而达到成 像的目的 。 ? 由 静电场 制成的透镜 —— 静电透镜 ? 由 磁场 制成的透镜 —— 磁透镜 ( 三 ) 电磁透镜 ? 磁透镜和静电透镜相比有如下的优点 磁透镜 静电透镜 1. 改变线圈中的电流强度 可很方便 的 控制焦距和放大率 ； 2. 无击穿 ，供给磁透镜线圈的电压 为 60 到 100 伏 ； 3. 像差小 。 1. 需 改变很高的加速电压 才可 改变 焦距和放大率 ； 2. 静电透镜需 数万伏 电压，常会 引 起击穿 ； 3. 像差较大 。 目前，应用较多的是磁透镜，我们只是分析磁 透镜是如何工作的。 ? 磁透镜结构剖面图 图 1-2 ? 磁透镜使电子会聚的原理