Q_IST-SV BP275-2020IST-SV BP275 高性能自旋阀.pdf

Q/IST 甘肃省科学院传感技术研究所企业标准 Q/IST-SV BP275—2020 IST-SV BP275 高性能自旋阀 2020-5-1 发布 2020-5-1 实施 甘肃省科学院传感技术研究所 发 布 Q/IST-SV BP275—2020 前 言 本标准按照 GB/T1.1-2020给出的规则起草。 本标准由甘肃省科学院传感技术研究所提出并起草。 本标准主要起草人：宋玉哲，王向谦，卢启海，何开宙，谢明玲，郑礴。 本标准于2020年05月01日首次发布并实施。 I Q/IST-SV BP275—2020 IST-SV BP275 高性能自旋阀 1 范围 本标准规定了高性能自旋阀的产品分类、规格型号、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、 运输、贮存。 2 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的 修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，鼓励根据本标准达成协议的各方研究可使用 这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。 GB/T 14141-2009 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法 SJ/T 10478-1994 磁控溅射设备，设备的定制、使用规范 JB/T 10616-2006 强磁体金属薄膜磁敏电阻 3 分类与型号 3.1 分类 IST-SV BP275为表面具有自旋阀多层膜的晶圆。自旋阀多层膜的结构示意图： 图 1 自旋阀结构图 自旋阀产品的材料结构： Ta/IrMn/CoFe/Cu/CoFe/NiFe/Ta/Ru 自旋阀在磁控溅射仪上的制备工艺均按照“SJ/T 10478-1994”的电子行业标准执行。 1 Q/IST-SV BP275—2020 3.2 型号 产品型号表述如下： IST SV BP 275 退火温度