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压阻式传感器 1. 半导体的压阻效应 2. 体型半导体应变片 3. 扩散型压阻式压力传感器 4. 压阻式加速度传感器 5. 压阻式传感器的测量电路 6. 压阻式传感器的应用 1 ppt 课件 1. 半导体的压阻效应 ? 固体材料受到压力后，它的电阻率将发生一定的变化，所有的固体 材料都有这个特点，其中以半导体最为显著。 当半导体材料在某一方向上承受力时，它的电阻率将 发生显著变化，这种现象称为半导体压阻效应。 ? 压阻式传感器的灵敏系数大，分辨率高。频率响应高，体积小。它 主要用于测量压力、加速度和载荷等参数。 ? 因为半导体材料对温度很敏感，因此压阻式传感器的温度误差较大， 必须要有温度补偿。 2 ppt 课件 1.1 压阻效应 金属材料 半导体材料 l l E ? ? ? ? ? ? ? e l l ? ＝ 半导体电阻率 π l 为半导体材料的压阻系数，它与半导体材料种类及应力方向 与晶轴方向之间的夹角有关； E 为半导体材料的弹性模量，与晶向有关。 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ) 1 ( R R ? ? ? ) 1 ( E R R l ? ? ? ? 3 ppt 课件 对半导体材料而言，π l E (1+μ)，故(1+μ)项可以忽略 ? ? ? ? l l E R R ? ? ? 半导体材料的电阻值变化，主要是由电阻率变化引起的，而电阻率ρ的 变化是由应变引起的。 半导体单晶的应变灵敏系数可表示 E R R K l ? ? ? ? ? / 半导体的应变灵敏系数还与掺杂浓度有关，它随杂质的增加而 减小 4 ppt 课件 利用这种效应制成的电阻称为固态压敏电阻，也叫力 敏电阻。用压敏电阻制成的器件有两类：一种是利用半导 体材料制成黏贴式的应变片；另一种是在半导体的基片上 用集成电路的工艺制成扩散型压敏电阻，用它作传感器元 件制成的传感器，称为固态压阻式传感器，也叫扩散型压 阻式传感器。 1.2 压敏电阻分类 5 ppt 课件 2. 体型半导体电阻应变片 这种半导体应变片是将单晶硅锭切片、研磨、腐蚀压焊引线， 最后粘贴在锌酚醛树脂或聚酰亚胺的衬底上制成的。体型半导体 应变片可分为 6 种。 ①普通型 : 它适合于一般应力测量； ②温度自动补偿型：它能使温度引起的导致应变电阻变化的各种因 素自动抵消，只适用于特定的试件材料； ③灵敏度补偿型：通过选择适当的衬底材料（例如不锈钢），并采 用稳流电路，使温度引起的灵敏度变化极小； ④高输出（高电阻）型：它的阻值很高（ 2 ～ 10 千欧） , 可接成电桥 以高电压供电而获得高输出电压，因而可不经放大而直接接入指示仪表。 ⑤超线性型 : 它在比较宽的应力范围内 , 呈现较宽的应变线性区域， 适用于大应变范围的场合； ⑥ P-N 组合温度补偿型 : 它选用配对的 P 型和 N 型两种转换元件作为电 桥的相邻两臂，从而使温度特性和非线性特性有较大改善。 6 ppt 课件 2.1 结构型式及特点 主要优点 ? 灵敏系数比金属电阻应变片的灵敏系数大数十倍 ? 横向效应和机械滞后极小 ? 温度稳定性和线性度比金属电阻应变片差得多 7 ppt 课件 2.2 测量电路 ? 恒压源 ? 恒流源 ) /( 0 t R R R U U ? ? ? ? R I U ? ? ? 0 电桥输出电压与Δ R / R 成正比，输出电压受环境温度的影响 。 电桥输出电压与Δ R 成正比，环境温度的变化对其没有影响。 8 ppt 课件 半导体应变片最突出的优点是灵敏度高，这为它的应用提供 了有利条件。另外，由于机械滞后小、横向效应小以及它本身体 积小等特点，扩大了半导体应变片的使用范围。 其最大的缺点是温度稳定性差、灵敏度离散程度大（由于晶 向、杂质等因素的影响）以及在较大应变作用下非线性误差大等， 给使用带来一定困难。 2.3 半导体应变片的优缺点 9 ppt 课件 3. 扩散型压阻式压力传感器 在弹性变形限度内，硅的压阻效应是可逆的，即在应力作用下硅 的电阻发生变化，而当应力除去时，硅的电阻又恢复到原来的数值。 硅的压阻效应因晶体的取向不同而不同，即对不同的晶轴方向其压阻 系数不同。虽然半导体压敏电阻的灵敏系数比金属高很多，但是