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- 2020-07-30 发布于天津
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精品文档
制绒:
硅片型号: 125*125
工艺目的:祛除机械损伤层,形成金字塔状绒面结构,减少光的反射。
工艺原理:利用硅的各向异性腐蚀,在不同的晶向上的腐蚀速度不一致, 100 面上的腐蚀速率与 111 面上的腐蚀速
率的比值 R100:R111 在一定的弱碱溶液中可以达到 500 。
主反应方程式: Si+2NaOH+H2O=Na2SiO3+2H2
工艺过程:装片 -上料 -超声波清洗机 -下料 -上料 -制绒 -水-甩干 - 出料
上料:每筐 12 盒 *25 片
制绒设备的槽体说明:
2 7 8 9 10 12 13 14
槽号 1 号 3 号 4 号 5 号 6 号 11 号
号 号 号 号
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