电子显微技术成分分析的方法.pptVIP

第8章成分分析 X射线色散分析谱仪 能谱仪(EDS) 波谱仪(wDS) 装配有能谱仪和波谱仪的仪器 电子探针(EPMA) 1.EPMA作原理 用细聚焦电子束入射样品表面,激发出样品中各元素的 特征X射线,分析特征X射线的波长(或特征能量)即 可得到元素的种类(定性分析);定量分析是分析特征 X射线的强度,得到样品中相应元素的含量 电了探针的功能主要是进行微区成分分析 结构包括 电子光学系统 X射线谱仪 样品室 扫描显示系统 EPMA的特点 定性、定量地分析样品微区的化学组成 元素分布 分析精度高:万分之1~万分之5。 分析区域小:微米数量级。 主要用于成分分析。可以同时给出微区 显微组织和微区成分。 电子探针Ⅹ射线显微分析仪 电子探针 EPMA-1600系列 微区高灵敏度·高精度分析的EPMA! 丰富多样的分析模式,为研究开发,失 效分析发挥威力。 样本NoC143-3084