矢量网络分析仪的校准技术演示幻灯片.ppt

? Rohde Schwarz 中国培训中心 – 技术研讨会 ?2004/ An Yi / 31 校准方法及应用 TOSM 校准方法的扩展 端口泄漏补偿 ? 两个端口需要两个匹配负载 ? 校准和测量过程可能会呈现不同的泄漏特性 在校准过程中，两个端口完全匹配，进行 隔离测量。所以，只有测量端口良好匹配的 被测件能被准确测量，如果被测件端口反射 很大，则可能会导致较大的测量误差。 ? Rohde Schwarz 中国培训中心 – 技术研讨会 ?2004/ An Yi / 32 校准方法及应用 TOSM 校准方法的扩展 滑动负载 ? 非理想匹配标准件的补偿 ? 高频测量时所需的校准标准件 ? 提高有效方向性 ? 提高幅度和相位精度 ? Rohde Schwarz 中国培训中心 – 技术研讨会 ?2004/ An Yi / 33 校准方法及应用 校准方法的改进 TOSM 校准方法存在的不足 ? 需要校准标准件的全部参数：例如，长度，损耗，寄生电容，寄 生电感等。 ? 不能对校准的质量做进一步的评估和检测。 改进方法 ? 减少所需的校准标准件 ? 采用无需全部参数已知的校准标准件 应用范围 ? 测试夹具，芯片， PCB 等 ? Rohde Schwarz 中国培训中心 – 技术研讨会 ?2004/ An Yi / 34 校准方法及应用 三个标准件的校准方法 七误差项模型 适用于多种应用场合 TOM 带有内部认证 TNA,TRM,TRL 适用于 PCB ，芯片，测试夹具等 ? Rohde Schwarz 中国培训中心 – 技术研讨会 ?2004/ An Yi / 35 校准方法及应用 TOM through/open/match 适用于四通道仪器，采用 7 误差项的模型 3 个校准件具有八个已知参数，用来估计 7 个误差项 多出的一个等式用于认证校准结果正确与 否，称为内部认证，从而保证校准精度， 避免校准误差，在生产应用中具有很高的 可靠性。 只需五个步骤 适用于同轴系统 ? Rohde Schwarz 中国培训中心 – 技术研讨会 ?2004/ An Yi / 36 校准方法及应用 TRM through/reflect/match R 可以未知，但在两个测试端口需相等 适用于测试夹具的校准 7 误差项模型， T 具有 4 个已知参数， M 具有两个 R 对称提供一个，从而可以估计 7 个误差。 如将端口空载，则只需 3 个步骤。 SHORT 可以用来验证校准结果 ? Rohde Schwarz 中国培训中心 – 技术研讨会 ?2004/ An Yi / 37 校准方法及应用 TNA through/network/attenuator 利用三个双端口器件进行校准。 network 参数可以未知，但需对称。 attenuator 的衰减可以未知，但需良好匹配 T 、 N 、 A 提供了七个已知参数进行 7 个误差 项的估计。 如将端口空载，则只需 2 步校准。 适于夹具和芯片校准。 SHORT 可以用来验证校准结果。 ? Rohde Schwarz 中国培训中心 – 技术研讨会 ?2004/ An Yi / 38 校准方法及应用 夹具测量 ? Rohde Schwarz 中国培训中心 – 技术研讨会 ?2004/ An Yi / 39 校准方法及应用 Through 标准件的制作示例 S11/S22 取决于线的几何结构，基片的介电常数和厚度。 S21/S12 取决于线的电长度 ? Rohde Schwarz 中国培训中心 – 技术研讨会 ?2004/ An Yi / 40 校准方法及应用 Attenuator 标准件的制作示例 S11=S22=0 S21/S12 可以任意选择，并且未知。但是要有别于 Through. ? Rohde Schwarz 中国培训中心 – 技术研讨会 ?2004/ An Yi / 41 校准方法及应用 Network 标准件 可以简单地将端口空载 对称性主要由适配器来保证 ? 无需 Network 标准件 ? Rohde Schwarz 中国培训中心 – 技术研讨会 ?2004/ An Yi / 1 矢量网络分析仪的校准技术 RohdeSchwarz Pushing limits ? Rohde Schwarz 中国培训中心 – 技术研讨会 ?2004/ An Yi / 2 罗德与施瓦茨中国有限公司 安毅 产品经理 Tel: 010-6431 2828 Email: Adams.An@ ? Rohde Schwarz 中国培训中心 – 技术研讨会 ?2004/ An Yi / 3 主要内容 概述 系统误差模型 校准方法及应