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电容电压转换 基于CAV424的电容式压力传感器测量 电路设计 摘要：随着差动式硅电容传感器广泛应用于各行各业中， 对差动电 容信号的检测至关重要。文中提出基于CAV424 电容检测芯片作为 前置检测单元， 实现了电容压力传感器测量电路。该电路具有稳定 性好，抗干扰性强，且通过非线性补偿有良好的线性。 实验结果表 明，实际电路与理论分析具有良好的一致性。 0引言 硅电容压力传感器是利用硅基材料， 应用电容原理， 采用 MEMS工艺制作的一类新型压力传感器。因其具有稳定性好， 非 线性和可靠性优越的性能被广泛用于工业控制和测量领域。但是差动 电容式压力传感器的输出差动电容信号通常都非常微弱， 因此，如 何将微小电容变化量检测及转换为后续电路容易处理的信号至关重 要。目前，比较常用的检测调理电路如谐振法、振荡法、开关电容 法、AC电桥法、运算放大器检测法等。这些调理电路都是采用分离 元件设计而成的， 而文中将采用一款电容专用检测转换芯片 CAV424 作为调理电路的核心部件。实验表明该电路稳定性高， 功 耗低，且非线性度在02%~ 0 1%, 非常适合使用干电池供电的 仪表仪器。 1 CAV424 工作原理 1. 1测量原理 CAV424 是专门用于电容检测转换的集成芯片， 其工作原理 图及外围连接图如图1所示。 VTEMP< AV424温度传感器I. <参考电流源 11 (RCxi /?G>sr4^—GND> 积分器2 VTEMP < AV424 温度传感器 I. < 参考电流源 1 1 ( RCxi /?G>sr 4^— GND > 积分器2 参考振荡器 > 积分器i - 彳 -O- :理 Cu Ri. 5 Li PlMlt 图1 CAV424 工作原理图及外围连接图 由图1可知，通过电容C °sc调整参考振荡器的频率来驱动 2 个构造对称的积分器并使它们在时间和相位上同步。 2个被控制的 积分器的振幅分别由电容 C X1和C X2来决定，这里C X1作参考电 容，C X2作为测量电容。由于积分器具有很高的共模抑制比和分辨 率，所以2个振幅的差值所提供的信号就反映出 2个电容C X1和 C X2的差值。这个电压差值通过后面的有源滤波器滤波为直流电源 信号（整流效应）， 然后送到可调的放大器， 调整RL 1和RL 2 的值，可得到所需要的输出电压值。如果 2个电容C X1和C X2值 相同，那么经过整流和滤波得到的一个直流电压信号就是零。如果 测量C X2电容改变了△ C X2,那么得到的输出电压与之是成正比的。 如果2个电容C X1和C X2值不相同，那么当C X2 = 0时，在输 出端得到的是一个偏置值， 它始终是叠加在直流电压信号上的。 1.2测量输出 根据CAV424 工作原理及外围电路连接图， 可得测量输出表 达式： -? ? 3I( -? ? 3 I( lr M LP g fl) 这里取1 CX1 = I CX2 = I C,所以输出表达式（1 ）可简化为： 3 1 y t二匕十 q- —* 1 * 丄. not .M Lr t ￡_ f 16 九觉 I 1 (2) 式中: 1 +臥 RL2 Vm为参考电压2 5 V; Ic 为2个积分器的充电电流， 这里 取常数5 A; f osc为参考振荡器频率范围， 其由被测电容的最小值 决定。 2硬件电路及软件设计 2. 1系统设计 该系统主要以CAV424 检测芯片和微处理器控制模块为核心， 另外还有输出显示模块以及电源模块等。系统框图如图 2所示。 图2系统框图。 CAV424检测芯片在系统中主要任务是将传感器的差动电容信 号转换为可测的电压信号。差动式压力传感器的低压端连接 C xi参 考电容端，高压端连接C X2被测电容端， 这样连接可以保证输出 电压始终为正。 2. 2 电容检测电路设计 根据硅电容压力传感器核心器件可看成由中心可动电极和两边 的固定电极组成的2个可变电容，其敏感电容可以简单地认为是平 板电容，而平板电容公式为: 并且将C X1参连接到差压的高压端， C X2连接到低压端。由此 可得C xi 可得C xi 参和C X2表达式: 因此可得式（2）最终表达式: 16 o o T fi /(LS( 图3 CAV424 检测原理图 2.3 控制及显示电路设计 式中：￡为两极板间介质的介电常数； S为两极板相对有效 面积；3为两极板的间隙 因此，在小位移情况下， 外加压力和△ 3成比例关系， 可见电 容的倒数差与输入压力成线性关系。所以文中将 CAV424 的CX 1 作为参考电容端连接到差压的高压端是合适的， 这样的线性关系减 少了系统误差的影响， 提高了系统的可靠性和准确性。 CAV424 检测转换原理如图3所示 C+ GND k I Jot —